في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، أي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار نصف درجة فقط يمكن أن يؤدي إلى خروج الأبعاد الحرجة عن المواصفات المطلوبة. كما أن بقاء المذيبات في المادة المستخدمة في عملية الطباعة يصبح غير قابل للتنبؤ، مما يؤدي إلى انخفاض جودة الإنتاج. لذلك، صممنا أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء للتخلص من هذه المشاكل.
ما الذي يُعتبر مهمًا في الواقع؟ نستخدم أجهزة إرسال أشعة تحت حمراء ذات موجات قصيرة، ولها استجابة سريعة وتحكم دقيق في الطيف الضوئي، مما يسمح برفع درجة الحرارة بسرعة دون حدوث أي تغييرات غير مرغوب فيها. يمكن الحصول على توحيد في درجة الحرارة على مستوى الرقاقة بمقدار ±0.1 درجة مئوية، ويتم التحقق من ذلك في ظروف الإنتاج الفعلية. كما أن هذه الأجهزة تتوافق مع معايير ISO من الفئة 1 إلى 100، ولا تنتج أي جسيمات، كما أنها تساعد في الحفاظ على سلامة الفيلم المستخدم في الطباعة. كما أن درجة التكرار في العملية تظل ضمن نطاق ±0.2 درجة مئوية من عملية إلى أخرى، مما يضمن استقرار العملية على مدار آلاف الرقاقات.
السبب في أهمية ذلك في الواقع هو أن عملية التسخين يجب أن تتم بدقة، حتى يتم تحقيق الدرجة المطلوبة من الحرارة. تساعد أجهزة الأشعة تحت الحمراء في تقليل وقت العملية، كما تساعد في استقرار المذيبات المتبقية، مما يحسن من توحيد عرض الخطوط، ويقلل من الحاجة إلى إعادة العمل. كما أن استخدام الطاقة يقل لأن الجهاز يسخن الهدف المراد تسخينه، وليس جدران الغرفة. كما أن هذه الأجهزة مصممة للعمل على مدار 24 ساعة، مع وجود بيانات دقيقة عن عمر الجهاز، مما يساعد في تقليل التوقفات غير المتوقعة.
يتم تركيب الجهاز عن طريق محاذاتته مع غرفة العمليات، وتوصيله بدائرة كهربائية مخصصة له. تعمل هذه الأجهزة مع الحاملات القياسية للرقاقات، لكن لا يزال من الضروري التحقق من مستوى التوصيل الحراري لكل منصة. يتم إتمام عملية التشغيل بسرعة، حيث يتم تحديد معايير التسخين، والتأكد من توحيد درجة الحرارة. بمجرد تهيئة الجهاز، تظل العملية مستقرة.