লাইন আউটে
তাপমাত্রার পরিবর্তন একটি সাদা বোর্ডের সমস্যা নয়। এটি লাইনের প্রস্থের পরিবর্তন, ফটোরেজিস্ট যা সফট বেকের পরে আটকে থাকে না এবং মাসের শেষে আপনি যেটি অনুভব করেন তা ফলন হিট হিসেবে প্রদর্শিত হয়। লিথোগ্রাফি এবং ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়াকরণের ক্ষেত্রে, বেক ধাপ তাপীয় বাজেট নির্ধারণ করে। যদি গরম অঞ্চল ওয়েফারের জায়গায় সেট পয়েন্ট ধরে রাখতে না পারে, তবে পুনরাবৃত্তি ভেঙে পড়ে।
আমরা যা তৈরি করেছি আমরা 2700W ক্লিয়ার কোয়ার্টজ ইনফ্রারেড টিউবটি একটি বিষয়ের চারপাশে ডিজাইন করেছি: যেখানে প্রক্রিয়াটি প্রয়োজন সেখানে স্থির তাপ। কোয়ার্টজ সংক্ষিপ্ত-তরঙ্গ ইনফ্রারেড পরিষ্কারভাবে প্রেরণ করে, তাই প্রতিক্রিয়া দ্রুত এবং নিয়ন্ত্রণ সঠিক থাকে। 2700W রেটিং আপনাকে দরজা চক্রের পরে দ্রুত পুনরুদ্ধারের জন্য শক্তি ঘনত্ব দেয় কোনো অতিরিক্ত উত্তাপ ছাড়াই। উত্তপ্ত অঞ্চলের মধ্যে, আমরা ওয়েফার-স্তরের একরূপতা ±0.1°C এর মধ্যে লক্ষ্য করি, তাই গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলি চলতে থাকে।
এটি উত্পাদনে কেন ভাল কাজ করে এই টিউবটি সফট বেক এবং হার্ড বেক স্টেশনের জন্য তাপীয় স্ট্যাকে সরাসরি ড্রপ করে, ফটোরেজিস্ট প্রোফাইলগুলি সঙ্গতিপূর্ণ রাখতে সাহায্য করে এবং আপনি ত্রুটিগুলির জন্য আরও মার্জিন পান। এটি ক্লাস 1 থেকে ক্লাস 100 পরিষ্কার কক্ষে চলে কম আউটগ্যাসিং এবং কোনো কণার উৎপাদন ছাড়াই, তাই আপনি ওয়েফারে কণার সংখ্যা নিয়ে লড়াই করছেন না। এর ফলাফল হল আরও ভাল প্রক্রিয়া সহনশীলতা, কম বিচ্যুতি এবং রক্ষণাবেক্ষণের সময়সূচী যা আপনি পরিকল্পনা করতে পারেন। শক্তিও নিয়মিত থাকে, কারণ টিউবটি প্রয়োজন অনুযায়ী উত্তপ্ত হয় এবং খুব সামান্য স্ট্যান্ডবাই ক্ষতি হয়।
কি খেয়াল রাখতে হবে ক্লিয়ার কোয়ার্টজ কার্যকর, কিন্তু এর প্রতি শ্রদ্ধা প্রয়োজন। এটি পরিষ্কার গ্লাভসে পরিচালনা করুন এবং ক্লাস-রেটেড ফিক্সচার ব্যবহার করুন—অন্যথায় আপনি পৃষ্ঠের দূষণের ঝুঁকি চালান। রিফ্লেক্টর জিওমেট্রি এবং বাতাসের প্রবাহকে টিউবের সাথে মেলান; আপনি যদি না করেন, তবে গরম স্থান এবং অসম একরূপতা ফিরে আসবে। মাউন্টে তাপীয়-যান্ত্রিক চাপের জন্য পরিকল্পনা করুন। তাপীয় সম্প্রসারণ বাস্তব, এবং মিসঅ্যালাইনমেন্ট সময়ের সাথে সাথে একরূপতা পরিবর্তন করবে।