সেমিকন্ডাক্টর তৈরির ক্ষেত্রে ওজোন দূর করা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। সেমিকন্ডাক্টর তৈরি করার সময় “পরিষ্কার” অবস্থা থাকা অপরিহার্য—এটাই মূল লক্ষ্য। আপনার শুকানো ও চিকিত্সা প্রক্রিয়াগুলোতে কোনো ধরনের অবশিষ্টাংশ থাকা উচিত নয়—কোনো রাসায়নিক পদার্থ নয়, কিছুই নয়।
সমস্যা হলো, পুরানো ধরনের হিটিং পদ্ধতিগুলো আজকের পরিবেশ-বান্ধব ও সীসা-মুক্ত নিয়মগুলো মেনে চলতে পারে না। এখানেই আমাদের ওজোন-মুক্ত ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো কাজে আসে।
“স্ট্যান্ডার্ড” ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলোর সমস্যা
স্ট্যান্ডার্ড শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলো ১৮৫ন্যানোমিটার থেকে ২৫০ন্যানোমিটার ব্যান্ডে বিকিরণ নির্গত করে। এই বিকিরণ বাতাসের অক্সিজেনের সংস্পর্শে আসলে ওজোন তৈরি হয়।
ক্লিনরুমে ওজোন অত্যন্ত বিপজ্জনক। এটা একটি দূষক পদার্থ; এটা সংবেদনশীল অংশগুলোকে ক্ষতিগ্রস্ত করে এবং সেখানে কাজ করা মানুষদের জন্য বাতাসকে অস্বস্তিকর/বিপজ্জনক করে তোলে।
আমরা এই সমস্যার সমাধান করেছি—বিশেষ ধরনের কোয়ার্টজ কভার ও ফিল্টার ব্যবহার করে। এটা এক ধরনের “ঢাল”-এর মতো কাজ করে; এটা VUV বিকিরণকে আটকায়, কিন্তু তাপকে অনুমতি দেয়। এভাবে আপনি প্রয়োজনীয় তাপ পান, কিন্তু কোনো রাসায়নিক দূষণ থাকে না।
আপনার সিস্টেমে এগুলো ব্যবহার করা
এই ল্যাম্পগুলো অল্প জায়গায় অনেক তাপ উৎপন্ন করে। যেহেতু শক্তি বিকিরণের মাধ্যমে স্থানান্তরিত হয়, তাই পুরো চেম্বারকে উত্তপ্ত করার জন্য সময় নষ্ট হয় না। আপনার শুধুমাত্র সাবস্ট্রেটটিকেই উত্তপ্ত করতে হয়। এটা আপনার ইনার্জি খরচ কমানোর জন্য অত্যন্ত উপকারী।
কিন্তু একটি বিষয় মনে রাখবেন: আপনার পাওয়ার ডেনসিটি ঠিক রাখুন। যদি আপনি দ্রুত চিকিত্সা করার জন্য উচ্চ-ওয়াটেজের ল্যাম্প ব্যবহার করেন, তাহলে অবস্থা খুবই খারাপ হয়ে যাবে।
নিশ্চিত হয়ে নিন যে আপনার কুলিং ফ্যান ও হিট সিঙ্কগুলো এই চাপ সামলাতে পারে। যদি তারা না পারে, তাহলে কোয়ার্টজ বা কানেক্টরগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যাবে—এটা কেউই সহ্য করতে চাইবে না।
বাস্তব জীবনে ব্যবহার
আমরা দেখছি যে, সোল্ডার মাস্ক বা ফটোরেসিস্ট চিকিত্সা করার জন্য মানুষরা পুরানো ধরনের হিটিং সিস্টেমগুলোর পরিবর্তে এই ল্যাম্পগুলো ব্যবহার করছেন।
এটা খুবই সহজ। আপনাকে বাতাস থেকে ওজোন দূর করার জন্য বড় ও ব্যয়বহুল ভেন্টিলেশন সিস্টেম ইনস্টল করার দরকার নেই। আপনি শুধুমাত্র ল্যাম্পগুলোকে সঠিকভাবে সংযুক্ত করুন, সময় নির্ধারণ করুন… আর কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই সাবস্ট্রেটটি সঠিক তাপমাত্রায় পৌঁছে যাবে।
এটা অনেক বেশি পরিষ্কার, দ্রুত, এবং বৈশ্বিক পরিবেশ-বান্ধব মানদণ্ডগুলোর সাথেও সামঞ্জস্যপূর্ণ।