Udržování vysoce čistého zahřívání waferu Když pracujete v čisté místnosti třídy 100, neexistuje prostor pro chyby. Jeden malý kousek prachu nebo...

V provozu není porucha nástroje jen otázkou údržby – znamená to také snížení výkonu a narušení harmonogramu práce. Když potřebuje modul na zahřívání...