Wie man Ozon bei der Trocknung und Aushärtung von Halbleitern beseitigt
Bei der Herstellung von Halbleitern ist „Reinheit“ nicht nur eine Empfehlung – sie ist vielmehr entscheidend. Die Trocknungs- und Aushärtungsprozesse müssen absolut keinerlei Rückstände hinterlassen – weder Chemikalien noch irgendetwas anderes.
Das Problem ist, dass viele traditionelle Heizmethoden den heutigen Umweltstandards sowie den Anforderungen bezüglich des Verzichts auf Blei nicht entsprechen. Hier kommen unsere ozongefreien Infrarotlampen ins Spiel.
Das Problem mit „Standard-Infrarotlampen“
Standard-Infrarotlampen emittieren Strahlung im Bereich von 185 nm bis 250 nm. Wenn diese Strahlung auf das Sauerstoffgas in der Luft trifft, entsteht Ozon. In einer Reinraumumgebung ist Ozon ein Albtraum – es ist ein Schadstoff, der empfindliche Komponenten zerstört und die Luft für die dort arbeitenden Menschen unangenehm – sogar gefährlich – macht.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir eine spezielle Quarzkuppel mit einem selektiven Filter verwendet haben. Man kann sich das wie einen Schutzschild vorstellen: Er blockiert das UV-Spektrum – also das, was Ozon erzeugt – lässt aber die Wärme ungehindert durch. So erhalten Sie die nötige Wärme, ohne dass chemische Stoffe entstehen.
Einbau in die Anlage
Diese Lampen liefern viel Wärme in einem kleinen Raum. Da die Energie über Strahlung übertragen wird, muss nicht die gesamte Kammer erhitzt werden. Die Wärme trifft direkt auf das Substrat. Das spart viel Energie.
Aber Vorsicht: Achten Sie auf die Leistungsdichte der Lampen. Wenn Sie hohe Leistungen nutzen, um die Aushärtung zu beschleunigen, wird es sehr heiß. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlfans und Kühlkörper diese Belastung bewältigen können. Andernfalls können die Quarzkuppeln splittern oder die Verbindungen schmelzen – und das möchte niemand am Dienstagmorgen erleben.
Praktischer Einsatz
Wir beobachten, dass viele Menschen ihre alten Konvektionsöfen gegen diese Lampen austauschen, wenn sie Lötmasken trocknen oder Fotolithografie-Materialien behandeln möchten. Es handelt sich dabei um einen einfachen Austausch. Man muss keine riesigen, teuren Belüftungssysteme einbauen, um Ozon aus der Luft zu entfernen. Man muss die Lampen nur anschließen, die Zeit einstellen – und schon erreicht das Substrat in Sekunden die richtige Temperatur.
Es ist sauberer, schneller – und es entspricht außerdem den globalen Umweltstandards, ohne das Leben der Menschen zu erschweren.