In der Lithografieabteilung führt bereits eine leichte Temperaturabweichung vonhalb eines halben Grades dazu, dass die Kontrolle der kritischen Abmessungen nicht mehr gewährleistet ist. Die Menge an Lösungsmitteln im Fotoresistent wird unvorhersehbar – dadurch sinkt die Ausbeute. Wir haben unsere Infrarotheizgeräte so konzipiert, dass diese Unwägbarkeiten beseitigt werden.
Was wirklich wichtig ist
Wir nutzen Infrarotstrahler mit schneller Reaktionszeit und präziser Spektralkontrolle. Dadurch erfolgt eine schnelle Erwärmung ohne Überschreiten der gewünschten Temperaturwerte. So wird eine Homogenität von ±0,1°C auf der gesamten Oberfläche des Wafer erreicht – dies wird unter Produktionsbedingungen überprüft. Die Kompatibilität mit Reinräumen ist selbstverständlich – die Heizgeräte entsprechen den Anforderungen von ISO-Klasse 1–100. Dadurch bleibt die Integrität des Films erhalten. Die Wiederholgenauigkeit liegt bei ±0,2°C pro Prozessschritt – dadurch bleibt das Prozessfenster über Tausende von Wafern hinweg konstant.
Warum das praktisch wichtig ist
Sowohl eine sanfte als auch eine starke Erwärmung dienen dazu, genau die richtige Temperatur zu erreichen. Die Infrarotgeräte verkürzen die Prozesszeit und gleichen zugleich die Menge an verbleibenden Lösungsmitteln aus. Dadurch verbessert sich die Homogenität der Linienbreite und es wird weniger Nachbearbeitung nötig. Der Energieverbrauch sinkt, da nur das Zielobjekt erwärmt wird – nicht die Wände des Behälters. Die Zuverlässigkeit der Geräte ist für einen 24/7-Betrieb ausgelegt; die dokumentierte MTBF-Zeit ermöglicht lange Betriebszeiten ohne unerwartete Ausfälle.
Installation
Die Installation besteht darin, das Gerät in die Prozesskammer einzustellen und einen speziellen Stromkreis anzuschließen. Die Heizgeräte funktionieren mit Standardwaferträgern und -anschlüssen – dennoch muss die thermische Kopplung für jede Plattform überprüft werden. Die Inbetriebnahme ist einfach: Die Erwärmungsprofile werden festgelegt und die Homogenitätswerte überprüft. Sobald alles eingestellt ist, bleibt der Prozess konstant.