In der Fertigungshalle kommen thermische Schwankungen niemals mit einem Warnsignal. Man erkennt sie an abweichenden kritischen Abmessungen, Strukturen an den Seitenwänden sowie an einem Photoresisten, dessen Verhalten von Charge zu Charge unterschiedlich ist. Wenn die Lampe an Leistung verliert, verschiebt sich das thermische Gleichgewicht – dadurch steigt die Menge an Ausschussprodukt unbemerkt an.
Was technisch wichtig ist: Wir haben diese RTP-Lampe für die Fertigung mit Kurzwellenhalogenstrahlern in einer Quarzkammer entwickelt – schließlich sind schnelle Temperaturschwankungen sowie präziser Spektralkontrolle erforderlich. Das Ergebnis ist eine Homogenität auf Waferebene von ±0,1°C über den gesamten Prozessverlauf hinweg sowie eine hohe Wiederholbarkeit, wodurch die Prozessparameter konstant bleiben.
Das System ist für den Betrieb in Reinräumen der Klassen 1–100 konzipiert. Es entstehen keine Partikel, und der geschlossene Wärmetransportweg verhindert, dass Ausgasungen den Raum verschmutzen. Die Lampe kann 24/7 ohne Störungen betrieben werden, wobei die Leistung über 5.000 Stunden hinweg konstant bleibt – mit weniger als 5% Leistungsabfall.
Warum das wichtig ist: Diese Lampe eignet sich hervorragend für Lithografie- und Photoresist-Prozesse. Die Temperaturen beim Schmoren bestimmen die Haftung des Photoresists, die kritischen Abmessungen sowie die Kontrolle der Prozessparameter. Eine präzise Temperaturkontrolle führt zu weniger Nacharbeiten, weniger Ausschussprodukt sowie zu einer konstanteren Prozessqualität.
Außerdem hilft dies auch bei der Energieeinsparung. Die Lampe erreicht schnell die gewünschte Temperatur und hält sie dort – ohne Überschreitung der Grenzwerte. Stabile thermische Zyklen verringern außerdem den Stress auf dem Wafer und verbessern somit die Leistung der Geräte. Das Ergebnis sind höhere Durchsätze, konsistente Betriebszeiten sowie geringere Kosten pro Wafer.
Die Details, die dazu beitragen, dass die Lampe funktioniert: Die Installation ist einfach. Doch die Leistung hängt davon ab, ob die Anschlüsse und Kühlvorrichtungen der Lampe richtig angepasst sind. Überprüfen Sie unbedingt Spannung und Steckertyp sowie die Kalibrierung der Kammeroptiken und Sensoren im Einklang mit dem Spektrum der Lampe.
Planen Sie den vorbeugenden Austausch der Lampe entsprechend Ihrem Prozesszyklus. Auch bei langer Lebensdauer sorgt ein geplanter Austausch dafür, dass die Homogenität gewahrt bleibt und die Partikelzahl innerhalb der Spezifikationen bleibt.