
در خط تولید، انحراف دما یک مشکل روی کاغذ نیست. این مسئله به صورت تغییر عرض خط، فتو رزیست که بعد از پخت نرم نمیچسبد و کاهش بازدهی که در پایان ماه حس میکنید، بروز میکند. در لیتوگرافی و پردازش فتو رزیست، مرحله پخت بودجه حرارتی را تعیین میکند. اگر ناحیه داغ نتواند دما را در سطح ورقه در نقطه تنظیم نگه دارد، تکرارپذیری از بین میرود. آنچه ما ساختیم ما لوله اینفرارد کوارتز شفاف با توان 2700W را حول یک چیز طراحی کردیم: حرارت پایدار در جایی که فرآیند به آن نیاز دارد. کوارتز، اینفرارد کوتاهموج را بهطور پاکیزه منتقل میکند، بنابراین پاسخگویی سریع و کنترل دقیق باقی میماند. توان 2700W، چگالی انرژی لازم را به شما میدهد تا بعد از چرخههای درب به سرعت بازیابی شوید بدون اینکه دما از حد مشخص تجاوز کند. در سرتاسر ناحیه گرمشده، هدف ما یکنواختی در سطح ورقه در محدوده ±0.1°C است، بنابراین ابعاد بحرانی در هر دور در محدوده مشخص باقی میمانند. چرا در تولید عملکرد خوبی دارد این لوله بهطور مستقیم در ساختار حرارتی برای ایستگاههای پخت نرم و سخت قرار میگیرد و به حفظ پروفایلهای فتو رزیست یکنواخت کمک میکند و حاشیه بیشتری برای عیوب به شما میدهد. این لوله در اتاقهای تمیز از کلاس 1 تا کلاس 100 با گاززدایی کم و بدون تولید ذرات کار میکند، بنابراین شما با شمارش ذرات در سطح ورقه مبارزه نمیکنید. نتیجه این است که تحمل فرآیند بهتر میشود، تعداد انحرافات کمتر میشود و فواصل نگهداری را میتوانید برنامهریزی کنید. همچنین انرژی بهطور منظم باقی میماند، زیرا لوله بهصورت تقاضا گرم میشود و حداقل اتلاف در حالت آماده به کار دارد. چه مواردی را باید مد نظر داشت کوارتز شفاف عملکرد خوبی دارد، اما نیاز به احترام دارد. آن را با دستکشهای تمیز جابجا کنید و از تجهیزات با درجهبندی کلاس استفاده کنید؛ در غیر این صورت خطر آلودگی سطح وجود دارد. هندسه بازتابنده و جریان هوا را با لوله مطابقت دهید؛ اگر این کار را نکنید، نقاط داغ و عدم یکنواختی دوباره ایجاد میشود. برای تنش حرارتی-مکانی در محل نصب برنامهریزی کنید. انبساط حرارتی واقعی است و عدم همراستایی باعث میشود که یکنواختی در طول زمان دچار انحراف شود.