کاهش مصرف کربن در فرآیندهای تولید: چرا استفاده از نور مادون قرمز کوتاهامواج منطقی است؟
همه در صنعت نیمههادی، تحت فشار برای رسیدن به حالت خنثی کربنی هستند. این فشار بسیار زیاد است. وقتی به جایی که انرژی در واقع مصرف میشود نگاه میکنیم، متوجه میشویم که بخش بزرگی از انرژی در فرآیند گرم کردن و پختن ویفرها هدر میرود.
به همین دلیل، ما به سمت استفاده از لامپهای مادون قرمز کوتاهامواج روی آوردهایم. در عوض اینکه سعی کنیم کل محفظه را گرم کنیم – که در واقع مانند گرم کردن یک اتاق کامل فقط برای گرم کردن یک فنجان قهوه است – نور مادون قرمز انرژی را مستقیماً به سطح ویفر میفرستد.
مصرف انرژی
به طور صادقانه باید گفت که گرمکنهای مقاومتی سنتی، کمی از نظر مصرف انرژی، غیربهینه هستند. آنها زمان زیادی را صرف گرم کردن هوای اطراف و دیوارههای محفظه میکنند.
اما لامپهای مادون قرمز کوتاهامواج به شکل متفاوتی کار میکنند؛ آنها انرژی را مستقیماً به سطح ویفر میفرستند. این کار بسیار سریع انجام میشود.
حتی اگر چند ثانیه از زمان گرم شدن ویفر کاهش یابد، این صرفهجویی در مصرف انرژی، در مجموع، بسیار قابل توجه خواهد بود.
جزئیات فنی
ما برای این لامپها از پوششهای کوارتز با خلوص بالا و سیستمهای هالوژنی استفاده میکنیم. گاز هالوژن، راز موفقیت این لامپها است؛ چرا که مانع از تبخیر فیلامنت تنگستن و لکهدار شدن دیوارههای لامپ میشود. این امر باعث میشود که لامپ برای هزاران ساعت، وضعیت خوبی داشته باشد.
بر اساس نوع ویفرهایی که استفاده میکنید، میتوانیم روکشهای ویژهای روی کوارتز اضافه کنیم؛ این کار باعث میشود که طول موجهای ناخواسته مسدود شوند و انرژی دقیقاً در جای مناسب خود متمرکز شود.
و بهترین بخش این است که میتوانید این لامپها را مستقیماً به کنترلرهای PLC موجود خود متصل کنید؛ این کار، جایگزینی ساده برای فناوریهای قدیمی و ناکارآمد است.
مزایای واقعی
بزرگترین مزیت این روش، کاهش مصرف انرژی در حالت «خاموش» است.
از آنجایی که لامپهای مادون قرمز تقریباً بلافاصله روشن و خاموش میشوند، دیگر نیازی نیست سیستم را در حالت خاموش نگه دارید. فقط زمانی که نیاز دارید، آن را روشن کنید.
این امر، فشار کمتری بر سیستمهای سرمایشی کارخانه وارد میکند؛ تیم HVAC نیز از این کار شما سپاسگزار خواهد بود.