در کارخانههای تولید، خاموش شدن یک لامپ در دستگاههای RTP، نه تنها باعث توقف عملکرد ماشین میشود، بلکه کل خط تولید را نیز متوقف میکند. در این حالت، ویفرها نمیتوانند به دمای مورد نیاز برسند؛ همچنین پروفایلهای فوتورزیست نیز دچار تغییرات میشوند. ناگهان، کنترل دما و یکنواختی ضخامت فیلم نیز از بین میرود. لامپهای جایگزین Mattson طوری طراحی شدهاند که فرآیندهای حرارتی را به درستی انجام دهند.
نکات مهم مربوط به عملکرد لامپها
ما از لامپهای هالوژنی با تابش موج کوتاه استفاده میکنیم؛ زیرا این لامپها باعث گرمایش سریع و یکنواخت در منطقه مورد نظر میشوند. این امر باعث ایجاد یکنواختی دمایی در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد میشود. از قطعات کوارتز برای کاهش تولید گازها و افزایش مقاومت در برابر شوکهای حرارتی استفاده میشود. تولید ذرات نیز در حد صفر باقی میماند؛ بنابراین شرایط کلاس ۱ تا ۱۰۰ اتاقهای پاکسازی برقرار میشود، بدون اینکه باعث کاهش زمان کارکرد دستگاه شود. لامپها برای کار ۲۴ ساعته طراحی شدهاند؛ دادههای موجود نشان میدهد که این لامپها میتوانند بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت با تابش پایدار و کمترین تغییرات در عملکرد، کار کنند. توان و ولتاژ لامپها با مشخصات دستگاهMattson هماهنگ است؛ همچنین، رزوههای مکانیکی نیز با دقت زیادی طراحی شدهاند تا هر بار، تنظیمات دستگاه به درستی انجام شود.
در فرآیندهای لیتوگرافی و فوتورزیست، مراحل گرم کردن نرم و سخت، ابعاد کلیدی و ویژگیهای چسبندگی مواد را تعیین میکنند. وقتی که لامپهای ما دمای مورد نظر را برقرار میکنند، فرآیندهای حذف حلالها و پیونددهی مواد نیز به درستی انجام میشود. در نتیجه، عملکرد دستگاه در تمام محصولات یکنواخت خواهد بود؛ همچنین، میزان ضایعات کاهش مییابد و زمان کارکرد دستگاق قابل پیشبینی خواهد بود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا لامپ به سرعت به دمای مورد نظر میرسد و آن را حفظ میکند. کمتر بودن تعویض لامپها، به معنای کمتر بودن نیاز به تعمیرات و کمتر بودن تولید ذرات نیز هست.
اینها جزئیات عملی هستند که باعث عملکرد صحیح دستگاه میشوند. برای نصب لامپها، کنترل دقیق الکترواستاتیک و استفاده از گشتاور مناسب برای نصب لامپ ضروری است؛ در غیر این صورت، ریسک ایجاد نقاط گرم و اتصال ناهموار وجود دارد. نوع کانکتور و تنظیمات مربوط به لامپ نیز باید با نسخه دستگاه هماهنگ باشد؛ در غیر این صورت، ممکن است تغییرات کوچکی در عملکرد لامپ ایجاد شود. برای برقراری یکنواختی عملکرد لامپ، نیاز به یک دوره کوتاه برای روشن شدن لامپ وجود دارد. پیشنهاد میشود قبل از افزایش حجم تولید، یک محموله کنترلشده برای بررسی یکنواختی عملکرد لامپ انجام شود.