Dans les usines de lithographie, les températures de cuisson ne déterminent pas seulement le rythme du processus, mais aussi l’épaisseur des couches métalliques formées sur les wafers. Une déviation de 0,5 °C suffit pour que les caractéristiques des CD changent. Si l’on ajoute à cela la génération de particules pendant les cycles de fonctionnement de la lampe, on constate une baisse significative de la qualité des produits finis.
Ce dont on a besoin, c’est d’une chaleur fiable et stable, qui puisse être utilisée directement dans les outils existants, sans avoir à revalider tout le système.
Nous fournissons des lampes à semi-conducteurs conçues pour correspondre aux exigences thermiques et électriques des équipements internationaux. Ainsi, vous obtenez un produit de remplacement fiable et équivalent. Les profils d’émission en onde courte et en onde moyenne permettent d’assurer une uniformité thermique au niveau du wafer, avec une variation maximale de ±0,1 °C pendant les étapes critiques de cuisson.
Les éléments en quartz et en halogène permettent une montée en température rapide, avec une sortie stable, ce qui permet de contrôler efficacement la consommation d’énergie tout en protégeant les films fragiles. La compatibilité avec les salles propres de classe 1 à 100 est assurée, et aucune particule n’est générée, grâce à un suivi en temps réel pendant le démarrage et le refroidissement de la lampe. Le circuit de commande est conçu pour fonctionner 24/7, avec une durée de vie de plus de 5 000 heures et une baisse de performance inférieure à 5 %.
En lithographie et dans le traitement des photosensibilisateurs, la précision de la température est cruciale pour obtenir une bonne qualité de production et réduire les temps de traitement. Ces lampes stabilisent la courbe de cuisson, améliorent la reproductibilité entre différents lots, et réduisent les variations dues au vieillissement de la lampe ou aux déviations thermiques.
Vous pouvez continuer à utiliser les mêmes procédures de traitement et les mêmes outils, tout en réduisant la consommation d’énergie grâce à une mise en température rapide et efficace. La fiabilité signifie moins d’interruptions inattendues et des périodes de maintenance mieux planifiées.
L’installation est compatible avec les prises et circuits de commande standards, mais il est nécessaire de vérifier la tension, le type de connecteur et les espacements mécaniques en fonction de la version de l’équipement. Certains équipements plus anciens nécessitent une calibration du firmware pour la détermination de l’irradiance ; nous fournissons les procédures nécessaires.
Un fonctionnement à une tension inférieure à la valeur nominale peut prolonger la durée de vie de la lampe, mais cela peut également allonger le temps de cuisson. Il est donc important d’adapter la courbe de cuisson aux spécifications du photosensibilisateur.