Maintenir votre wafer parfaitement propre pendant le chauffage
Lorsque vous travaillez dans une salle propres de classe 100, il n’y a aucune place pour l’erreur. Un seul petit grain de poussière ou une légère dégazéification provenant d’un élément chauffant suffit pour que la qualité du produit en souffre. C’est un véritable cauchemar.
C’est pourquoi nous avons abandonné les matériaux standard au profit du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes IR.
Pourquoi le quartz est essentiel
La plupart des verres ne conviennent pas : ils se brisent sous l’effet des chocs thermiques, ou bien leur pureté n’est pas suffisante pour être utilisés dans les procédés de semi-conducteurs. Nous utilisons donc du quartz fusionné, avec un faible taux de hydroxyde (OH). En d’autres termes, la lampe ne libère pas de particules microscopiques de silice pendant son chauffage et son refroidissement. De plus, l’enveloppe en quartz crée un étanchéité parfaite. Le filament en tungstène reste donc bien à sa place, loin de l’environnement de traitement.
Chaleur là où vous en avez besoin (et nulle part ailleurs)
Nos lampes IR concentrent l’énergie dans une bande spectrale très étroite. C’est l’avantage majeur : vous pouvez atteindre les températures souhaitées sur la surface du wafer, sans que tout le boîtier de la lampe ne devienne un four. Le temps de mise en marche est rapide. Vraiment rapide.
Mais il y a un hic : comme la chaleur est si concentrée, il faut bien configurer les systèmes de refroidissement. Si le flux d’air n’est pas correct, les composants peuvent endommagés. C’est un compromis, mais cela en vaut la peine pour obtenir une vitesse de chauffage optimale.
Pas de colle, pas de particules, pas de problèmes
Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent être remplacées facilement. Nous savons que les temps d’arrêt sont un problème majeur, alors nous avons veillé à ce qu’elles soient faciles à remplacer. Nous avons également évité l’utilisation de colle et de revêtements. Pourquoi ? Parce que ces éléments finissent toujours par s’écailler. À la place, nous avons opté pour des joints mécaniques qui restent hermétiques même en conditions de vide ou d’atmosphère contrôlée. C’est simple, efficace et propre.
Une précision importante
Il faut garder à l’esprit que le quartz de haute pureté est fragile. Il peut résister à des températures extrêmes, mais il déteste être secoué. Si les supports de fixation ne sont pas amortis, la lampe peut vibrer contre le cadre et se briser. Une fois l’étanchéité rompue, le filament s’enflamme immédiatement. Assurez-vous que la lampe soit bien fixée, et elle fonctionnera parfaitement.