בתהליך הליתוגרפיה, רמת האיכות תלויה בדיוק בטמפרטורה. שינוי של 2 מעלות צלזיוס במהלך החימום עלול לפגוע בשליטה ברמת הדיוק של ה-CD. ואם החימום אינו אחיד? זה מוביל לחוסר אחידות בגבולות הקווים. לכן פיתחנו חיממן המבוסס על ננו-צינורות פחמן, כדי להסיר את הצורך בהערכות מסובכות של הטמפרטורה במהלך ייבוש הוופרים, חימום הפוטורזיסט והחימום הסופי.
מה חשוב באמת? החיממן משתמש בננו-צינורות פחמן כדי לספק אנרגיה אינפרא-אדומה מהירה ויציבה. הוא מאפשר שליטה אחידה בטמפרטורה ברמה של ±0.1 מעלות צלזיוס. זמן התגובה של החיממן הוא פחות משנייה, כך שהטמפרטורה נשמרת ברמה הרצויה – השכבות הדקות נשארות מוגנות, והשליטה בטמפרטורה נשמרת ברמה גבוהה. החיממן מתאים לשימוש בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, אינו יוצר חלקיקים במהלך הפעולה, והוא אמין 24/7. הביצועים שלו נשארים יציבים לאורך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5%. כך שניתן לקבל תוצאות אחידות בכל סדרת ייצור.
מה קורה בפועל? החימום הרך מאפשר פרופילים אחידים של הפוטורזיסט. החימום הסופי הופך לתהליך חוזר ואחיד. הוופרים יוצאים יבשים ועוברים את הבדיקות ללא צורך בעבודה נוספת. השליטה הקפדנית בטמפרטורה מקצרת את זמן החימום, מפחיתה את כמות החומרים המבוזבזים, וחוסכת אנרגיה – החום מופנה למקומות הנדרשים. כך ניתן להגדיל את מהירות הייצור, מבלי לפגוע ברמת הדיוק של ה-CD. בנוסף, אין צורך להחליף את החיממן לעתים קרובות – מערכת זו עמידה בפני שינויי טמפרטורה.
כמה הערות לפני השימוש: יש להתאים את מתח החשמל ואת החיבורים של החיממן. כמו כן, חשוב שהוופרים יהיו מיושרים כראוי, כדי שהאור יחדור אליהם באופן אחיד. החיממן פועל בצורה הטובה ביותר כאשר התא סגור; זרמי אוויר עלולים לגרום לשינויי טמפרטורה קטנים. יש לבצע ניסויים קצרים כדי להתאים את קצב החימום ואת רמת הטמפרטורה הרצויה לסוג הפוטורזיסט המשמש.