בחוץ על הקו, בעיית השינוי בטמפרטורה אינה בעיה תאורטית. היא מתבטאת כווריאציה בעובי הקו, פוטורסיסט שאינו נדבק לאחר אפייה רכה, ואובדן תפוקה שמרגישים בסוף החודש. בליתוגרפיה ובעיבוד פוטורסיסט, שלב האפייה קובע את התקציב התרמי. אם האזור החם אינו יכול לשמור על נקודת ההגדרה על פני הווייפ, החזרתיות מתמוטטת.
מה שבנינו סביבו
עיצבנו את צינור האינפרה אדום שקוף בקיבולת של 2700W סביב דבר אחד: חום יציב היכן שהליך דורש את זה. קוורץ מעביר אינפרה אדום קצר גל באופן נקי, כך שהתשובה מהירה והשליטה נשארת הדוקה. דירוג ה-2700W נותן לך את צפיפות הכוח להחלים במהירות לאחר מחזורי דלת ללא חריגה. ברחבי האזור המחומם, אנו מכוונים לאחידות ברמת הווייפ בתוך ±0.1°C, כך שהממדי קריטיים נשארים בטווח המוגדר מחזור אחרי מחזור.
מדוע זה מחזיק בייצור
צינור זה נכנס ישירות לערימה התרמית עבור תחנות אפייה רכה וקשה, ועוזר לשמור על פרופילים של פוטורסיסט עקביים ומספק לך יותר מרווח על פגמים. הוא פועל בחדרים נקיים מדגם Class 1 עד Class 100 עם איבוד גזים נמוך ואין יצירת חלקיקים, כך שאינך מתמודד עם ספירות חלקיקים על הווייפ. התמורה היא סובלנות תהליך טובה יותר, פחות חריגות, ופרקי תחזוקה שניתן לתכנן סביבם. האנרגיה נשארת מסודרת גם, מכיוון שהצינור מחמם לפי דרישה עם אובדן המתנה מינימלי.
על מה לשים לב
קוורץ שקוף פועל, אבל הוא זקוק לכבוד. יש לטפל בו עם כפפות נקיות ולהשתמש במתקנים מדוגמים Class - אחרת אתה מסתכן בזיהום שטח. התאם את גיאומטריית המפיץ וזרימת האוויר לצינור; אם לא תעשה זאת, נקודות חמות ואחידות לא אחידות יחזרו. תכנן עבור מתח תרמו-מכני במעמד. התפשטות תרמית היא מציאות, והזזה לא נכונה תגרום לשינוי באחידות לאורך זמן.