בחדר הייצור, טמפרטורות האפייה השונות אינן קובעות רק את תנאי האפייה – הן גם קובעות את עובי הקווים שנוצרים במהלך התהליך. שינוי של 0.5°C בטמפרטורה יכול לגרום לשינוי באיכות המוצרים. בנוסף, ייצור של חלקיקים במהלך מחזורי הפעולה של הנורות יכול לפגוע באיכות המוצרים.
מה שנחוץ זה חום שניתן לחזות אותו, חום נקי, שיוכל להיכנס ישירות לכלים שכבר קיימים – בלי צורך לעשות בדיקות חוזרות על כל השרשרת.
אנו מספקים נורות לחצי מוליכים שמותאמות לממשקים התרמיים והחשמליים של הציוד הבינלאומי, כך שתקבלו תחליף איכותי. פרופילי הגלים הקצרים והבינוניים מותאמים לשמירה על אחידות תרמית ברמת הוואפר, כך שהטמפרטורה תישאר בטווח של ±0.1°C במהלך שלבי האפייה החשובים.
חומרי הקוורץ וההלוגן מאפשרים עלייה מהירה בטמפרטורה, יחד עם יציבות ברמת האור הנפלט – כך שניתן לשלוט בצריכת האנרגיה ולשמור על השכבות העדינות. הנורות מותאמות לשימוש בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, ואין ייצור של חלקיקים, כפי שניתן לוודא באמצעות מעקב בזמן אמת במהלך הפעולה של הנורות. הנורות מיועדות לפעולה 24/7, עם זמן שירות של למעלה מ-5,000 שעות, עם ירידה באור הנפלט של פחות מ-5%.
בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד פוטורזיסט, דיוק הטמפרטורה הוא גורם חשוב לאיכות המוצרים ולזמן הטיפול. הנורות מאפשרות יציבות בטמפרטורה, שמירה על אחידות בין הלוטים השונים, וצמצום השינויים הנגרמים כתוצאה מהזדקנות הנורות או שינויים תרמיים.
ניתן להמשיך להשתמש באותן שיטות ייצור ובאותם כלים, ובנוסף ניתן לחסוך באנרגיה בזכות היעילות של הנורות. האמינות של הנורות מבטיחה פחות תקלות פתאומיות, ומאפשרת תכנון טוב יותר של שעות התחזוקה.
ההתקנה של הנורות תואמת את השקעי הנורות והמנועים הסטנדרטיים, אך יש לבדוק שוב את המתח, סוג החיבור וההתאמות המכניות לפי דגם הכלי. חלק מהכלים הישנים דורשים כיול של הפריוריטיזציה – אנו מספקים את הנהלים לכיול זה.
פעולה במתח נמוך יותר יכולה להאריך את חיי הנורות, אך יכולה גם להאריך את זמן האפייה. יש להתאים את הטמפרטורה למפרטי הפוטורזיסט.