מחמם אינפרא אדום לחימום מוקדם של חומר הפוטורזיסט

בתהליך הליתוגרפיה, עלייה קלה בטמפרטורה של חצי מעלה בלבד עלולה לפגוע בשליטה בממדים החיוניים של המוצר. שאריות החומרים המסיסים בחומר הפוטורזיסט נעשות...