अपनी मशीन को गर्म करना बंद करें, और ध्यान से वेफरों को गर्म करें।
यदि आपने कभी सिलिकॉन वेफरों के साथ काम किया है, तो आपको पता होगा कि इसमें कितनी कठिनाइयाँ हैं। वेफरों को ठीक उचित तापमान पर गर्म करना आवश्यक है, लेकिन सामान्य आईआर लैंपों से ऐसा करना मुश्किल है। ऐसे लैंपों से ऊर्जा हर जगह फैल जाती है।
समस्या यह है कि यह ऊर्जा सीधे वेफर पर नहीं, बल्कि मशीन की आंतरिक दीवारों पर पड़ती है। इससे मशीन एक “विशाल रेडिएटर” की तरह काम करने लगती है। यह ऊर्जा की बर्बादी है, और वास्तव में यह एक सुरक्षा जोखिम भी है। कोई भी ऐसी मशीन नहीं चाहेगा, जिसका तापमान इतना अधिक हो कि उसे छूना खतरनाक हो।
“ऊर्जा के अनावश्यक वितरण” को कैसे ठीक किया जाए?
हम इस समस्या को दिशात्मक तरीके से हल करते हैं। सिर्फ साधारण क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग करने के बजाय, हम विशेष प्रकार के रिफ्लेक्टरों एवं कोटिंगों का उपयोग करते हैं।
इसे एक साधारण बल्ब के बजाय टॉर्च की तरह सोचें। हम उन इन्फ्रारेड फोटॉनों को सीधे वेफर पर ही भेजते हैं। इस तरह ऊर्जा वहीं रहती है, जहाँ उसे होना चाहिए। वेफर को आवश्यक तापमान मिलता है, जबकि मशीन का तापमान कम रहता है।
उच्च तापमान का समाधान
उच्च-वॉटेज वाले लैंप बहुत शक्तिशाली होते हैं। तेज़ गति से प्रक्रिया पूरी करने हेतु ऐसे लैंपों की आवश्यकता है, लेकिन ऐसे लैंपों से मशीन को ठंडा रखना बहुत मुश्किल हो जाता है।
यदि आपकी वायु/जल प्रणाली इस कार्य के लिए पर्याप्त न हो, तो तापमान में अस्थिरता आ जाती है। इसे रोकने हेतु, अपने PID कंट्रोलर को लैंप के वास्तविक प्रतिक्रिया समय के अनुसार ही सेट करें। इससे आपको लक्षित तापमान से आगे न जाना पड़ेगा।
सही तरीके से लैंपों का उपयोग
ऐसे लैंपों को बदलना तो आसान है, लेकिन यहाँ सबसे महत्वपूर्ण बात है – सही संरेखण।
यदि संरेखण में कुछ मिलीमीटर की भी गलती हो जाए, तो वेफर पर गर्म बिंदु बन जाते हैं। यह एक बड़ी समस्या है। हम सटीक संरेखण हेतु विशेष ब्रैकेटों का उपयोग करते हैं।
सबसे अच्छी बात यह है कि “गर्म दीवार” संबंधी समस्या ही खत्म हो जाती है। अब आप अपनी प्रक्रिया को उच्च तापमान पर चला सकते हैं, बिना इस चिंता के कि मशीन के घटक खराब हो जाएंगे या कोई ऑपरेटर घायल हो जाएगा। मशीन ठंडी रहती है, लंबे समय तक काम करती है, एवं सभी लोगों की सुरक्षा भी सुनिश्चित होती है।