空気を加熱するのはやめよう：スマートファブの温度管理におけるより良い方法
もし現在、スマートファブの構築を考えているのであれば、従来の対流式加熱ではもはや不十分だということをご存知でしょう。クリーンルームで作業する際には、迅速かつ正確な加熱が必要ですが、同時に環境に悪影響を与えてはいけません。
そのため、短波赤外線が最適な解決策です。部品の周囲の空気を加熱するのに時間を費やす代わりに、赤外線は直接基板に作用します。
速度が全てです
データ駆動型の工場では、抵抗素子が温まるのを待つ時間は本当に長く感じられます。それに対して、赤外線ランプは数秒で目標温度に到達します。これにより、作業が大幅に容易になります。PLCはセンサーからの情報に基づいて、リアルタイムで出力を調整できます。これにより、温度を超えてしまったり、最悪の場合、ウェーハが変形してしまう心配もありません。
狭いスペースでも強力な効果
私たちは、少量のスペースに大量の電力を供給できるシステムを開発しています。高圧電流をコンパクトな石英チューブ内で流すことで、非常に強力な放射エネルギーが生み出されます。この利点は、オーブンのサイズを小さくできることです。しかし、注意点もあります。ランプの周囲の空気が過度に熱くなってしまうと、ランプが早期に壊れたり、接続部が故障したりします。信じてください、作業中にそれらを交換するのは避けたいものです。
清潔さを保つ
クリーンルームでは、空気の乱流は大敵です。赤外線は高速な空気流に頼らないため、その問題を心配する必要はありません。密封された石英ケースを使用しているため、粒子が飛び散って工程を台無しにする心配もありません。
妥協点
ただし、高出力の赤外線は「プラグアンドプレイ」ではありません。これらのシステムは電力条件に敏感です。わずかな電圧の上昇で、ランプがすぐに破損してしまうことがあります。そのため、電気系統には少し余分な投資が必要です。高精度なSCRやPWMコントローラーを使用することで、温度管理が容易になります。