クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
クラス100の環境で作業を行う場合、わずかなミスでも大きな問題につながります。塗料の破片やごくわずかなガスの放出だけで、大量のウェーハが台無しになってしまいます。
問題は、ほとんどの加熱素子がこのような環境には適していないことです。そのため、加熱素子の外装が剥がれたり、温度が上昇するとコーティングが剥がれてしまいます。これは本当に厄介な問題です。
私たちは別の方法を採用しています。高純度の石英製のIRランプを、耐久性の高いステンレス鋼製の外装と組み合わせて使用しています。
秘密は石英にあります。
私たちは合成された高純度の石英をランプに使用しています。なぜかというと、石英は結晶化しないからです。つまり、微細なひび割れが生じず、作業エリアに微粒子が飛び散る心配もありません。
また、短波赤外線を使用しているため、周囲の空気を温めることなく、直接ワークピースにエネルギーを与えることができます。そうすれば、HVACシステムにも余計な負担がかからず、助かります。
次に外装の問題です。
汚染が始まるのは通常、外装部分です。それを防ぐために、316Lステンレス鋼を使用し、電解研磨処理を施しています。これにより、ほこりが隠れやすい微細な凹凸がなくなります。
また、緩んだネジも問題です。ネジは振動しやすく、緩んで微粒子を飛ばしてしまいます。そのため、機械的な留め具は使わず、TIG溶接で完全に固定し、表面を滑らかにしています。これにより、一体となった平滑な構造が実現します。
実際に工場で使えるようにするために…
覚えておくべき点があります。これらの石英ランプは非常に急速に加熱されます。つまり、瞬時に加熱されるのです。これは生産効率には良いですが、取り付け部に大きなストレスがかかります。外装を過度に締め付けると、フレームが歪んだり、シールが壊れたりする可能性があります。そのため、私たちは浮動式のブラケットを使用しています。これにより、金属には膨張する余地が生まれ、何も壊れることはありません。
これらの部品が出荷される前に、超音波洗浄機で徹底的に洗浄し、真空パックしてから出荷します。これにより、加工油や研磨剤の痕跡が一切残らないようにしています。そうすれば、スイッチを入れた時に起こるのは加熱のみで、レンズに汚染物質が付着することはありません。