機械を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう。 シリコンウェーハの処理に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要ですが、一般的なIRランプでは放射線があちこちに漏れ出します。 問題は、そのエネルギーがウェーハだけでなく、装置の内壁にも当たってしまうこと...

無駄に熱を浪費するのをやめましょう：アルミニウム反射板の真実 スマートな製造ラインでは、熱は通常、邪魔なものと見なされます。しかし、別の観点から見ると、実際にはそれは資源なのです。 生産ライン用の赤外線システムを設置する際、多くの人々はライト自体にばかり注意を払います。しかし実際には、ライト自体は...

セラミック製のエンドキャップを使って熱の漏れを防ぐ 一般的なIR発光体は、熱をあらゆる方向に放出してしまう傾向があります。半導体製造装置を扱う際には、これは問題になります。熱が装置の内部に漏れ込むと、オペレーターが火傷する危険があり、また、内部にある精密な電子部品も損傷してしまいます。 解決策は実...