공기를 가열하는 것을 중단하세요: 스마트 팹의 온도를 효과적으로 관리하는 더 나은 방법
현재 스마트 팹을 구축하고 있다면, 기존의 대류식 가열 방식은 더 이상 적합하지 않다는 것을 알고 있을 것입니다. 클린룸에서 작업할 때는 빠르고 정확한 난방이 필요하지만, 동시에 환경에 악영향을 주어서는 안 됩니다.
그래서 단파 적외선이 최적의 해결책입니다. 부품 주변의 공기를 가열하는 데 시간을 낭비하는 대신, 적외선은 직접 기판을 가열합니다.
속도가 곧 모든 것입니다
데이터 기반의 생산 환경에서는 저항성 요소가 따뜻해지기를 기다리는 것이 마치 영원처럼 느껴집니다. 그러나 적외선 램프는 몇 초 만에 목표 온도에 도달합니다. 이를 통해 작업이 훨씬 수월해집니다. PLC는 센서가 감지하는 정보를 바탕으로 실시간으로 전력을 조절할 수 있습니다. 그 결과, 온도가 과도하게 상승하거나 웨이퍼가 손상될 위험이 줄어듭니다.
작은 공간에서도 강력한 성능
우리는 작은 공간에도 많은 에너지를 공급할 수 있는 시스템을 만듭니다. 고전압을 컴팩트한 석영관을 통해 전달함으로써 강력한 복사열이 생성됩니다. 장점은 오븐의 크기를 줄일 수 있다는 것입니다. 하지만 주의해야 할 점은 냉각 시스템을 제대로 설계해야 한다는 것입니다. 램프 주변의 공기가 너무 뜨거워지면 램프가 빨리 고장나거나 연결부가 손상될 수 있습니다. 중간에 램프를 교체해야 하는 상황은 피하고 싶겠죠.
청결한 환경 유지
클린룸에서는 공기의 난류가 큰 문제가 됩니다. 적외선은 고속의 강제 공기를 사용하지 않기 때문에 이러한 문제를 겪을 필요가 없습니다. 우리는 밀폐된 석영관을 사용하기 때문에, 이물질이 발생하여 공정에 영향을 미치는 것을 걱정할 필요가 없습니다.
단점
물론, 고출력 적외선 시스템은 그냥 연결해서 사용할 수 있는 것은 아닙니다. 이러한 시스템들은 전력 조건에 매우 민감합니다. 단 한 번의 전압 변동만으로도 램프가 고장날 수 있습니다. 따라서 전기적인 부분에 좀 더 투자해야 합니다. 고정밀 SCR이나 PWM 컨트롤러를 사용하는 것이 좋습니다. 처음에는 조금 더 노력이 필요하지만, 그렇게 하면 온도 조절에 대한 걱정을 줄일 수 있습니다.