치유 과정에서 웨이퍼를 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 등급의 청정실을 운영하고 있다면, 실수할 여지가 전혀 없다는 것을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 한 톨이나 가열 요소에서 나오는 가스만으로도 전체 제품이 폐기될 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황이죠.
그래서 우리는 일반적인 재료 대신 고순도의 합성 석영을 적용하여 적외선 램프와 반사판을 만들었습니다.
왜 석영이 중요한가?
저렴한 유리나 저급 석영은 열을 견딜 수 없습니다. 강한 열 변화가 생기면 그러한 불순물들이 분해되어 발암성 화합물이 생성되고, 램프 표면에 안개 같은 현상이 생깁니다.
반면, 고순도 석영은 그런 문제가 없습니다. 열 변화에도 깨지거나 입자가 떨어지지 않습니다. 그래서 램프와 웨이퍼가 항상 깨끗하게 유지됩니다.
열을 제대로 전달하기
반사판이 좋지 않으면 램프는 아무 소용이 없습니다. 우리는 열이 정확히 웨이퍼 표면에 도달하도록 하기 위해 많은 노력을 기울였습니다. 에너지가 집중되므로 치유 온도에 도달하는 데 시간이 훨씬 줄어듭니다. 게다가, HVAC 시스템도 과도하게 작동하지 않아도 됩니다.
하지만 주의해야 할 점은, 집중된 에너지로 인해 램프의 외부가 매우 빠르게 뜨거워진다는 것입니다. 그러므로 냉각 팬이 제대로 작동하는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 램프가 손상될 수 있습니다.
설치 및 관리
우리는 부피를 최소화했습니다. 이 제품들은 기존 램프를 그대로 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 따라서 전체 램프를 고칠 필요가 없습니다.
“완전한 무공해” 환경을 유지하기 위해 접착제나 저품질 플라스틱을 사용하지 않았습니다. 모든 부분은 납땜되거나 기계적으로 고정됩니다.
마지막으로, 램프를 교체할 때는 반드시 맨손으로 석영을 만지지 마세요. 피부의 기름이 석영 표면에 남아서 램프가 너무 빨리 손상될 수 있습니다. 반드시 청결한 장갑을 착용하세요.