Zorg dat de heaters in uw schone ruimte veilig blijven (en dat uw elektrische netwerk stabiel blijft)
In een halfgeleiderfabriek betekent een defecte heater geen ‘slechte dag op kantoor’ of wat vertraging in het proces. Het is een nachtmerrie: er kan sprake zijn van contaminatie en serieuze veiligheidsrisico’s.
Wij ontwerpen deze heaters zodat ze de wafer op een precieze temperatuur kunnen houden. Maar de echte uitdaging ligt in het elektrische isolatiemateriaal. Daarom maken we geen risico’s. Elke heater die ons bedrijf verlaat, wordt eerst getest op de weerstand tegen hoge spanningen en op de kwaliteit van het isolatiemateriaal. Punt.
Waarom we onze apparaten tot het uiterste drijven
We voeren strenge tests uit op elke unit voordat deze wordt verzonden. We gebruiken hoge spanningen om te controleren of het isolatiemateriaal onder druk standhoudt.
Als er een microscopisch klein scheurtje in het keramische materiaal of een zwak punt in de bedrading zit, zal de test dat vaststellen. We willen die gebreken liever al bij ons ontdekken, dan dat ze in uw schone ruimte problemen veroorzaken.
Als een heater in gebruik faalt, kan dit leiden tot een grondfout. In een schone ruimte kan dit zelfs het hele elektrische netwerk beschadigen. Of nog erger: het kan elektrisch lawaai veroorzaken in uw litografieapparatuur, waardoor de precisie wordt verstoord.
Ontworpen voor stabiliteit
Om dit te voorkomen, gebruiken we hoogwaardige dielektrische materialen, zodat de heaters volledig gescheiden blijven van het chassis van de kar.
We hebben ontdekt dat de verbindingspunten vaak de oorzaak zijn van problemen. Daarom worden onze terminaties zo ontworpen dat ze de constante uitzetting en samentrekking door hitte kunnen weerstaan. Als een draad losraakt, kan dit leiden tot bliksemflitsen. En bliksemflitsen kunnen tot een complete storing leidden.
De balans tussen precisie en onderhoud
Er is een compromis nodig. Omdat we de isolatietoleranties zo strikt houden, zijn deze heaters gevoelig voor de omgeving. Als de luchtvochtigheid stijgt of als er schadelijke chemicaliën op de apparaten terechtkomen, zal de isolatieweerstand dalen.
Het is belangrijk om de lekstroom in de gaten te houden.
Om u te helpen, leveren we rapporten met de resultaten van de tests op elke unit die we verkopen. Denk hierbij aan een soort ‘geboortebewijs’ voor uw heater. U kunt deze gegevens gebruiken om te zien hoe de heater na verloop van tijd verslechtert. Zodra de weerstand onder de vereiste waarde daalt, weet u dat het tijd is om hem te vervangen door een nieuwe.