Op de productielijn zorgt het uitvallen van één lamp in een RTP-apparaat er niet alleen voor dat de machine stilvalt, maar ook dat de hele productielijn wordt gestopt. Hierdoor missen de wafers hun vereiste temperatuur. De profielen van de fotorezistentie beginnen te verschuiven. Plotseling gaan de controlemechanismen voor de dikte van de laag en de nauwkeurigheid van de afwijkingen mis. De vervangingslampen van Mattson zijn zo ontworpen dat ze een stabiele en betrouwbare warmtestream leveren.
Wat belangrijk is onder de motorkap Wij kiezen voor halogeenlampen met kortegolfafstraling, zodat er snel en gecontroleerd kan worden verwarmd. Dit zorgt voor een temperatuurnauwkeurigheid van ±0,1°C binnen de actieve zone van de wafel. Quartzonderdelen worden gebruikt omdat ze weinig gassen afgeven en goed bestand zijn tegen thermische schokken. De hoeveelheid deeltjes blijft op een laag niveau, zodat de eisen van een schoonheidsklasse 1–100 worden nageleefd, zonder dat dit invloed heeft op de bedrijfsduur. De lampen zijn ontworpen om 24/7 te werken. Uit praktijkervaring blijkt dat ze meer dan 5.000 uur kunnen werken met een stabiele afstraling en minimale afwijkingen. De stroomsterkte en spanning zijn afgestemd op de Mattson-apparaten. De mechanische verbindingen voldoen aan strenge tolerantiewaarden, zodat de lampen altijd op de juiste manier worden gealigneerd.
Bij de litografie- en fotorezistentieverwerking spelen de stappen van ‘soft bake’ en ‘hard bake’ een cruciale rol. Wanneer onze lampen de gewenste temperatuur bereiken, vindt het verwijderen van oplosmiddelen en het koppelen van moleculen precies zoals verwacht plaats. Hierdoor wordt er consistentie behouden tussen verschillende batches, ontstaat er minder afval en zijn de cyclustijden voorspelbaar. De energieverbruik neemt af, omdat de lamp snel de gewenste temperatuur bereikt en deze behoudt, zonder dat er sprake is van overdreven warmte. Minder lampvervangingen betekent minder onderhoudstijd en minder problemen met deeltjes.
Dit zijn de praktische aspecten die ervoor zorgen dat alles goed werkt. Bij de installatie is het belangrijk om strenge regels voor ESD aan te houden en de juiste draairichting van de lampen te gebruiken. Anders kan dit leiden tot ongelijkmatige warmteverspreiding. Zorg er ook voor dat de connector en kalibratieinstellingen overeenkomen met de versie van het apparaat. Onjuiste firmware kan kleine afwijkingen verbergen. Er is een korte inwerktijd nodig om de lampen stabiel te krijgen. Plan eerst een gecontroleerde test om de consistentie en de prestaties van de lampen te controleren, voordat je de productie opschalingt.