Op de lithografieafdeling kan een lichte verhoogde temperatuur al van tien graden zorgen voor problemen bij het beheersen van de cruciale afmetingen. De hoeveelheid oplosmiddelen die in de fotoresist blijft, wordt dan onvoorspelbaar, waardoor de kwaliteit van het product afneemt. We hebben onze infraroodverwarmers ontworpen om deze variabiliteit weg te nemen.
Wat er echt toe doet
We gebruiken infraroodemitters met een snelle respons en nauwkeurige controle over het spectrum. Hierdoor wordt de temperatuurstijging snel gerealiseerd, zonder dat er sprake is van overdreven temperaturen. Hierdoor is de uniformiteit over het oppervlak van de wafer minimaal ±0,1°C. Deze uniformiteit wordt gecontroleerd onder productieomstandigheden. De compatibiliteit met schone ruimtes is niet alleen een slogan: de verwarmingseenheden voldoen aan ISO-standaarden 1–100. Er wordt geen stof gegenereerd en komt er geen gas vrij, zodat de integriteit van de film behouden blijft. De herhaalbaarheid ligt rond ±0,2°C per keer dat de warmte wordt toepast. Dit zorgt ervoor dat het proces stabiel blijft, zelfs bij duizenden wafers.
Dit is belangrijk in de praktijk: zowel een milde als een sterke verhitting moet precies op de juiste manier worden uitgevoerd. De infraroodunitten verkorten de tijd die nodig is voor het proces, terwijl ze de hoeveelheid resterende oplosmiddelen beperken. Hierdoor wordt de uniformiteit van de lijnen verbeterd en wordt er minder herwerk nodig. De energieverbruik neemt af, omdat alleen het object wordt verwarmd, niet de wanden van de ruimte. De betrouwbaarheid is hoog, waardoor het apparaat 24/7 kan werken. Er is ook een documentatie beschikbaar over de levensduur van het apparaat, zodat er minder onverwachte stilstanden optreden.
De installatie vereist dat de unit goed wordt geplaatst in de procesruimte en dat er een aparte elektrische voedingslijn wordt gebruikt. De verwarmingseenheden werken goed met standaardwaferdragers en interfaces. Toch moet de thermische koppeling voor elke platform nog worden gecontroleerd. De inbedrijfsstelling duurt kort: de temperatuurprofielen worden vastgesteld en de uniformiteitskaarten worden gecontroleerd. Eenmaal ingesteld, blijft het proces stabiel.