Na stanowisku litograficznym nawet niewielka odchylenia temperatury o pół stopnia mogą sprawić, że kontrola wymiarów elementów będzie nieprecyzyjna. Retencja rozpuszczalników w fotorezystie staje się trudna do przewidzenia, a efektywność procesu spada. Dlatego zaprojektowaliśmy grzałki infraczerwone, które eliminują tę zmienność.
Co jest ważne pod względem technicznym? Wykorzystujemy emitery światła infraczerwonego o krótkich falach, które charakteryzują się szybką reakcją i precyzyjną kontrolą spektrum. Dzięki temu proces nagrzewania przebiega szybko, bez przekroczeń dostępnych wartości temperatury. Udział jednolitości temperatury na powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, co zostało potwierdzone w warunkach produkcyjnych. Zgodność z wymogami przechowalni czystych to nie tylko slogan – urządzenie spełnia standardy ISO Class 1–100, a ilość cząstek wytwarzanych jest zminimalizowana, co zapewnia nienaruszoną integralność warstwy fotorezystu. Powtarzalność wynosi ±0,2°C pomiędzy poszczególnymi procesami nagrzewania, co zapewnia stabilność procesu przy przetwarzaniu tysięcy płytek.
Dlaczego to jest ważne w praktyce? Proces nagrzewania musi odbywać się z precyzją, aby uzyskać właściwe warunki termiczne. Urządzenia infraczerwone skracają czas procesu, jednocześnie stabilizując ilość rozpuszczalników w fotorezystie. Dzięki temu poprawia się jednolitość grubości warstwy fotorezystu i zmniejsza się liczba prac korygujących. Użytek energii jest mniejszy, ponieważ grzejemy sam obiekt, a nie ściany komory. Niezawodność urządzeń gwarantowana jest przez całą dobę, a docelowa żywotność urządzeń umożliwia długotrwałe wykorzystanie bez nagłych awarii.
Instalacja polega na dostosowaniu urządzenia do komory procesowej oraz podłączeniu specjalnego obwodu energetycznego. Grzałki działają z standardowymi nośnikami płytek i interfejsami, ale należy sprawdzić efektywność oddawania ciepła dla każdej platformy. Proces konfiguracji jest szybki – profile nagrzewania są ustalone, a mapa jednolitości temperatur potwierdzona. Gdy wszystko jest ustawione, proces może przebiegać stabilnie.