Mantendo o aquecimento do wafer totalmente limpo
Quando se trabalha em uma sala limpa de classe 100, não há espaço para erros. Um simples gránulo de poeira ou um pouco de gás liberado pelo elemento de aquecimento já pode comprometer todo o processo. É um pesadelo.
Por isso, abandonamos os materiais convencionais e passamos a usar quartzo sintético de alta pureza nas nossas lâmpadas de IR.
Por que o quartzo é tão importante?
A maioria dos tipos de vidro não consegue suportar essas condições. Eles se quebram sob impactos térmicos ou simplesmente não têm pureza suficiente para serem usados em processos semicondutores. Nós utilizamos quartzo fundido com baixo teor de hidroxila (OH). Isso significa que a lâmpada não libera partículas microscópicas de sílica durante o processo de aquecimento e resfriamento. Além disso, o invólucro de quartzo cria um selo hermético. O filamento de tungstênio fica protegido, longe do ambiente de trabalho.
Calor exatamente onde você precisa dele (e em lugar nenhum mais)
Nossas lâmpadas de IR concentram a energia em uma faixa espectral muito estreita. Isso é ótimo: você consegue alcançar as temperaturas desejadas na superfície do wafer, sem transformar todo o equipamento em um forno.
O tempo de aquecimento é rápido. Muito rápido.
Mas há um problema: como o calor é tão concentrado, é preciso garantir que os sistemas de resfriamento funcionem corretamente. Se o fluxo de ar não estiver adequado, os componentes podem se danificar. É um trade-off, mas vale a pena pela velocidade obtida.
Sem colas, sem partículas, sem complicações
Projetamos essas lâmpadas para serem substituídas facilmente. Sabemos que o tempo de parada é um grande problema, por isso fizemos com que elas fossem fáceis de trocar.
Também eliminamos as colas e revestimentos. Por quê? Porque eles acabam se soltando com o tempo. Em vez disso, utilizamos selos mecânicos que permanecem firmes mesmo em condições de vácuo ou em atmosferas controladas. É simples, mecânico e eficaz.
Uma advertência
Lembre-se de que o quartzo de alta pureza é frágil. Ele consegue suportar altas temperaturas, mas não tolera vibrações.
Se os suportes de fixação não forem adequados, a lâmpada pode vibrar e se quebrar. E, uma vez que o selo hermético seja rompido, o filamento queima rapidamente. Mantenha-a estável, e ela vai funcionar perfeitamente.