На производственных линиях температура нагрева играет ключевую роль – она определяет не только параметры процесса, но и толщину слоев на пластине. Даже небольшое отклонение в 0,5°C может привести к изменению характеристик CD-дисков. Если к этому добавить ещё и генерацию частиц во время циклов работы лампы, то это ещё больше снизит качество продукции.
Нужна такая температура, которая была бы стабильной и предсказуемой, а также такая, которая могла бы быть использована без необходимости перенастройки всей производственной линии.
Мы поставляем полупроводниковые лампы, соответствующие тепловым и электрическим характеристикам международного оборудования. Таким образом вы получаете надежную замену для вашего оборудования. Профили излучения коротких и средних волн позволяют сохранять тепловую однородность на уровне пластинки, с точностью до ±0,1°C во время критических этапов нагрева.
Кварцевые и галогеновые элементы обеспечивают быстрый нагрев с стабильным уровнем излучения, что позволяет контролировать температурный режим и защищать чувствительные слои на пластинке. Лампы совместимы с помещениями класса чистоты 1–100. Отсутствие генерации частиц подтверждается с помощью контроля в процессе запуска и охлаждения лампы. Управляющее устройство рассчитано на круглосуточную работу; срок службы составляет более 5000 часов при падении мощности менее чем на 5%.
В процессах лиотографии и обработки фоторезиста точность температуры имеет решающее значение для качества продукции и времени выполнения процесса. Лампы стабилизируют кривую нагрева, повышают повторяемость результатов и снижают отклонения, связанные со старением лампы или тепловыми колебаниями.
Вы можете использовать те же технологические процедуры и те же устройства, а также сократить расход энергии благодаря эффективному нагреву. Надежность ламп позволяет минимизировать простои и планировать время техобслуживания.
Установка ламп возможна с использованием стандартных клемм и управляющих устройств. Однако необходимо убедиться в соответствии напряжения, типа разъемов и механических параметров с характеристиками вашего оборудования. Некоторые старые устройства требуют калибровки прошивки для правильного регулирования интенсивности излучения – мы предоставляем соответствующие инструкции.
Работа лампы при напряжении, ниже номинального, может увеличить срок её службы, но также может увеличить время нагрева. Необходимо соответствовать спецификациям фоторезиста.