На производственной линии отказ одной из ламп в устройстве RTP приводит не только к остановке работы самого устройства, но и к остановке всей линии. Пластины не могут достичь необходимой температуры. Профили свойств фотополимера начинают изменяться. В результате контроль параметров CD и толщины пленки становится невозможным. Лампы Mattson разрабатываются таким образом, чтобы обеспечить стабильность процесса термической обработки.
Что действительно важно Мы используем галогенные лампы с коротковолновым излучением для быстрого локального нагрева и стабильного спектрального ответа. Это позволяет сохранять температурную однородность на уровне ±0,1°C во всей активной зоне. Для изготовления кварцевых компонентов выбирается материал с минимальным объемом выделения газов и высокой устойчивостью к термическим ударам. Количество частиц, образующихся в процессе работы, приближается к нулю, что соответствует требованиям чистых помещений класса 1–100 без снижения времени работы оборудования. Лампы рассчитаны на круглосуточную работу; данные эксплуатации показывают, что они могут работать более 5,000 часов при стабильном уровне излучения и минимальных отклонах. Мощность и напряжение ламп соответствуют требованиям оборудования Mattson, а механические соединения выполнены с высокой точностью, что обеспечивает стабильную работу лампы каждый раз.
В процессе литографии и обработки фотополимеров этапы мягкой и жесткой обработки имеют решающее значение для формирования правильных размеров и качества склеивания. Когда лампы Mattson восстанавливают нужный профиль температур, удаление растворителей и процесс склеивания происходят точно так, как предусмотрено. Это обеспечивает стабильную работу оборудования, снижает количество бракованных продуктов и позволяет предсказывать время выполнения процесса. Потребление энергии снижается, поскольку лампа быстро достигает заданной температуры и поддерживает её без перегрузок. Менее частая замена ламп означает меньше простоев и меньше проблем с частицами.
Вот практические детали, которые обеспечивают стабильную работу оборудования. При установке необходим строгий контроль за уровнем электростатического загрязнения, а также правильное затягивание креплений лампы – в противном случае могут возникнуть проблемы с неравномерным нагревом. Типы разъемов и настройки калибровки должны соответствовать версии оборудования; несоответствие прошивки может привести к незначительным отклонениям. Ожидается короткий период стабилизации работы лампы. Необходимо провести тестирование перед увеличением объема производства, чтобы проверить стабильность работы оборудования и качество продукции.