Как избавиться от озона при обработке полупроводников
При производстве полупроводников критически важно соблюдать высокий уровень чистоты — это не просто желательно, а необходимо. Необходимо, чтобы процессы сушки и обработки не оставляли никаких остатков: ни остатков химикатов, ни чего-либо ещё.
Проблема заключается в том, что многие традиционные методы нагрева не соответствуют современным экологическим стандартам, требующим отсутствия свинца в производственном процессе. Именно здесь на помощь приходят инфракрасные лампы без использования озона.
Проблемы с «стандартными» инфракрасными лампами
Стандартные коротковолновые инфракрасные лампы излучают свет в диапазоне 185–250 нм. Когда этот свет встречается с кислородом в воздухе, образуется озон.
В чистых комнатах озон представляет серьезную проблему. Это загрязнитель, который разрушает чувствительные компоненты и делает воздух неприятным для дыхания — а иногда даже опасным для людей, работающих там.
Мы решили эту проблему с помощью специальных кварцевых корпусов с фильтрами, которые блокируют вредное излучение, но позволяют теплу проходить через них. Таким образом можно получить необходимое тепло без образования химических отходов.
Установка ламп в вашу систему
Эти лампы выдают большое количество тепла в небольшом объеме. Поскольку энергия передается посредством излучения, а не конвекции, не нужно тратить время на нагрев всей комнаты. Тепло достигает поверхности материала напрямую. Это значительно снижает расходы на электроэнергию.
Однако следует быть осторожным: необходимо контролировать интенсивность излучения. Если используется высокомощная лампа, температура может стать слишком высокой. Убедитесь, что вентиляторы и радиаторы способны справиться с такой нагрузкой. В противном случае может произойти разрушение кварцевого корпуса или контактов, а это определенно не то, с чем хочется иметь дело по утрам.
Практическое применение
Люди заменяют старые конвекционные печи на эти лампы для обработки полупроводников. Это простое решение: не нужно устанавливать сложные системы вентиляции для удаления озона из воздуха. Достаточно просто подключить лампы, установить нужное время нагрева, и поверхность материала быстро достигнет нужной температуры.
Это более экологично, быстро и соответствует глобальным экологическим стандартам, при этом не усложняя процесс производства.