ในโรงงานผลิตชิปนั้น ขั้นตอนการทำให้กาวยึดชิปแข็งตัวเป็นจุดที่มีความสำคัญมาก เพราะเป็นจุดที่อุณหภูมิและคุณภาพของชิปมาบรรจบกัน การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2°C ก็สามารถส่งผลให้ความแข็งแรงของการยึดชิปเปลี่ยนไปได้ ซึ่งอาจนำไปสู่การแยกชิ้นส่วนของชิปออกจากกัน และทำให้ชิปที่ผ่านขั้นตอนการผลิตมาก่อนหน้านี้กลายเป็นของเสียไป ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการควบคุมอุณหภูมิให้แม่นยำตามที่กำหนดไว้ในขั้นตอนการผลิต ในแต่ละรอบการผลิต
สิ่งที่สำคัญจริงๆ
เราออกแบบแพลตฟอร์มการทำให้กาวแข็งตัวโดยให้มีการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ โดยมีความแตกต่างของอุณหภูมิในบริเวณที่ยึดชิปอยู่ที่ ±0.1°C เท่านั้น หัวเครื่องทำความร้อนเป็นแบบอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งช่วยให้การทำความร้อนเกิดขึ้นได้อย่างรวดเร็วและไม่มีการสัมผัสโดยตรง ดังนั้นจึงสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ นอกจากนี้ แพลตฟอร์มนี้ยังสามารถทำงานร่วมกับห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 ได้อีกด้วย โดยใช้วัสดุที่ไม่ก่อให้เกิดก๊าซ มีการปิดผนึกห้องอย่างดี และมีระบบกรองอากาศภายในเพื่อให้มีจำนวนอนุภาคในอากาศอยู่ในระดับต่ำ การไม่มีอนุภาคในอากาศเลยไม่ใช่เพียงแค่สโลแกนเท่านั้น แต่เป็นสิ่งที่เราวัดได้จากการทดสอบจริง ระบบนี้ยังสอดคล้องกับมาตรฐานอุปกรณ์ผลิตชิประดับนานาชาติ โดยให้ผลลัพธ์ด้านอุณหภูมิและโปรโตคอลการเชื่อมต่อที่เทียบเท่ากับแพลตฟอร์มอื่นๆ
เหตุผลที่ระบบนี้ใช้งานได้จริง
การยึดชิปด้วยกาวนั้นต้องมีการทำให้กาวแข็งตัวอย่างรวดเร็วและมีเสถียรภาพ โดยไม่ก่อให้เกิดความเครียดกับชิปหรือฐานรองชิป เราจึงใช้โปรไฟล์การทำความร้อนที่แม่นยำสำหรับกาวประเภทเอพ็อกซี่และโพลีอิมิด จากนั้นก็กลับสู่สภาวะปกติอย่างรวดเร็ว ด้วยวิธีนี้ จึงสามารถลดเวลาการผลิตได้ โดยไม่ส่งผลต่อความแข็งแรงของการยึดชิป นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะหัวเครื่องทำความร้อนจะทำงานเมื่อมีความจำเป็นเท่านั้น และสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ นอกจากนี้ ยังมีการวางแผนเพื่อลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด โดยมีการเตรียมอะไหล่และบำรุงรักษาไว้อย่างดี ขั้นตอนการทำให้สารเคมีแข็งตัวก็ได้รับประโยชน์จากระบบนี้เช่นกัน เพราะการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำช่วยให้การทำให้สารเคมีแข็งตัวเกิดขึ้นได้อย่างสม่ำเสมอ และช่วยให้ความกว้างของเส้นและสิ่งที่เหลืออยู่อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด
ข้อควรระวังก่อนการเลือกใช้ระบบนี้
แพลตฟอร์มนี้สามารถรวมเข้ากับกระบวนการผลิตที่มีอยู่ได้อย่างดี แต่จำเป็นต้องมีอุปกรณ์ที่เหมาะสมกับกำลังไฟของหัวเครื่องทำความร้อนและความแตกต่างของความดันในห้องปลอดฝุ่น ควรตรวจสอบข้อมูลเกี่ยวกับแรงดันไฟฟ้าและน้ำยาทำความเย็นล่วงหน้า และควรมีเวลาสำหรับการปรับแต่งโปรไฟล์การทำงานของแพลตฟอร์มด้วย หลังจากที่โปรไฟล์การทำงานถูกกำหนดไว้แล้ว กระบวนการผลิตก็จะดำเนินไปอย่างสม่ำเสมอตลอด 24 ชั่วโมง โดยให้ผลลัพธ์ที่แม่นยำ