
Sınıf 100 temiz oda koşullarını gerçekten temiz tutmak
Sınıf 100 ortamında çalışırken en küçük hata bile felaketle sonuçlanabilir. Bir parça boya talaşı veya küçük miktarda gaz salınımı bile tüm waferlerin bozulmasına neden olabilir.
Sorun şu ki, çoğu ısıtma elemanı bu tür koşullar için uygun değildir. Bu elemanların kılıfları dökülür; termal sınırlara ulaştıklarında kaplamalarları soyulur. Bu durum gerçekten kabus gibi bir durumdur.
Biz bunu farklı şekilde hallediyoruz. Yüksek saflıkta kuvars IR lambalarını, dayanıklı paslanmaz çelik kılıflarla bir araya getiriyoruz.
Sırrı kuvarstadır.
Lambalarımızda sentetik, yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü kristalleşmez. Bu da mikroskobik çatlakların olmamasını sağlar; böylece toz parçacıklarının çalışma alanına karışması engellenir. Ayrıca kısa dalga boyundaki kızılötesi ışık kullanıyoruz. Bu sayede enerji doğrudan iş parçasına aktarılır ve etrafındaki hava ısınmaz. HVAC sistemi de odaya gereksiz ısı yükü gelmemesi için minnettar kalacaktır.
Peki ya kılıf?
Kirliliğin başladığı yer genellikle kılıftır. Bunu önlemek için 316L paslanmaz çelik kullanıyoruz ve üzerine elektropolis işlemi uyguluyoruz. Bu sayede tozların saklanabileceği tüm küçük çıkıntılar ve düzensizlikler giderilmiş olur. Ayrıca gevşek vidalardan da kaçınıyoruz; çünkü bunlar titreşerek gevşeyebilir ve toz parçacıklarını düşürebilir. Bu yüzden mekanik bağlantılar kullanmıyoruz. Her şeyi tam penetrasyonlu kaynaklarla birleştiriyoruz ve yüzeyleri pürüzsüz hale getiriyoruz. Böylece her şey tek parça halinde kalır.
Atölyenizde bunun gerçekten işe yaraması için…
Unutulmaması gereken bir şey var: Bu kuvars lambaları çok hızlı ısınır. Bu da üretim hızını artırır, ancak montaj noktalarına büyük bir baskı uygular. Eğer kılıfı çok sıkı bağlarsanız, çerçevenin bozulmasına veya contaların hasar görmesine neden olursunuz. Bu yüzden yüzer braketler kullanıyoruz. Bu sayede metalin genişlemesi için yer sağlanır ve hiçbir şey zarar görmez.
Tüm bunlar fabrikamızdan çıkmadan önce ultrasonik temizleyiciden geçirilir ve vakum paketlenir. İşleme yağı veya parlatma maddelerinin hiçbir izinin kalmadığından emin oluyoruz. Böylece anahtarı çevirdiğinizde tek olan şey ısıtma olur; lenslerinizde herhangi bir gaz salınımı olmaz.