Wafer’ınızın tamamen temiz kalmasını sağlayın
Class 100 temiz odalarında çalışırken hata payı hiç yoktur. Bir parça toz veya ısıtıcı elemanlardan kaynaklanan ufak bir gaz salınımı bile üretiminizi olumsuz etkiler. Bu gerçekten korkunç bir durum.
İşte bu yüzden standart malzemeler kullanmayı bıraktık ve IR lambalarımız için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullandık.
Kuvarsin neden önemli olduğu
Çoğu cam malzeme bu iş için uygun değildir. Termal şoklara dayanamazlar veya yarı iletken üretimi için yeterince saf değillerdir. Biz ise düşük hidroksil (OH) içeriğine sahip kuvars kullanıyoruz. Böylece lamba, ısınırken veya soğurken mikroskobik silika parçacıkları yaymaz. Ayrıca kuvars kaplaması, sıkı ve havasız bir ortam oluşturur. Böylece tungsten filamenti, proses ortamından uzakta, olması gereken yerde kalır.
Isıyı istediğiniz yerde tutun
IR lambalarımız enerjiyi çok dar bir spektral bandına odaklar. En iyi yanı da budur: Tüm cihazı fırına çevirmeden wafer yüzeyindeki hedef sıcaklıklara ulaşabilirsiniz. Isının artışı çok hızlıdır. Ancak dikkat edilmesi gereken nokta, ısının bu kadar yoğun olmasıdır; bu yüzden soğutma sistemlerinin doğru şekilde ayarlanması gerekmektedir. Eğer hava akışı doğru değilse, cihaz hasar görebilir veya sensörler bozulabilir. Bu bir denge meselesidir, ancak hız açısından buna değer.
Yapıştırıcı yok, parça yok, sorun yok
Bu lambaları “hemen yerine takılabilen” lambalar olarak tasarladık. Downtime’ın zararlı olduğunu biliyoruz, bu yüzden onları kolayca değiştirebileceğimiz şekilde tasarladık. Ayrıca yapıştırıcılar ve kaplamalar kullanmadık. Neden mi? Çünkü bunlar zamanla dökülür. Bunun yerine vakum veya kontrollü atmosfer koşullarında bile sıkı kalabilen mekanik kaplamalar kullandık. Bu yöntem basit, mekanik ve temiz bir çözümdür.
Bir uyarı
Unutmayın ki yüksek saflıkta kuvars kırılgandır. Aşırı ısıya dayanabilir, ancak sarsılmaya karşı çok hassastır. Eğer montaj braketleri yeterince sönümlendirilmemişse, lamba çerçeveye çarpar ve kırılabilir. Vakum kaplaması bozulduğunda da filament hızla yanar. Lambayı sabit tutarsanız, size sorunsuz hizmet verecektir.