
Giriş
Yarı iletkenlerin derin işlenmesinde herkes aynı şeyi hedefliyor: Verimi düşürmeden işlem süresini kısaltmak. Bu sorunu doğrudan çözmek için yarı iletken ısıtıcılar için özel olarak bir termokupl geliştirdik.
Kızılötesi ısıtma, enerjiyi doğrudan hedefe ileterek işlem yapar; havanın ısınmasını beklemeye gerek yoktur. Ayrıca termokupllar sayesinde işlem sürekli ve stabil kalır.
Teknik Detaylar
Farkı şöyle anlayabilirsiniz: Kızılötesi ısıtma, hava sistemlerinin getirdiği ısısal direnci ortadan kaldırır. Termokupllar ise ısıtıcının hızına ayak uydurarak milisaniyeler içinde tepki verir ve kontrolü sağlar.
Sistemi, kullanılan aletin termal özelliklerine göre tasarlıyoruz; voltaj, güç ve geometri gibi parametreler odanın ve yüzeyin özelliklerine uygun şekilde ayarlanır. Böylece işlem süresi kısalarak üretim hızı artar.
Malzeme ve Tasarım
Kısa dalga uzunluğuna sahip kızılötesi elemanları kuvars kaplamalarla birleştiriyoruz; böylece hızlı ısınma sağlanır ve termal şoklara karşı dayanıklılık artar. Yansıtıcı kaplama ise enerjiyi tam olarak gereken yere yönlendirir; böylece yanındaki bileşenler zarar görmez.
Bağlantı noktası olarak R7s veya Sk15 seçenekleri rastgele değildir. Bu seçenekler, tekrarlanan termal döngülere rağmen gevşemeyen ve arka bağlantı sorunları olmayan sağlam bir bağlantı sağlar.
Bu sistem, günlerce temiz oda koşullarında kullanılmak üzere tasarlanmıştır.
Uygulama ve Faydalar
Derin işlemler sırasında doğru yerde ısıya ihtiyaç vardır ve sıcaklığın doğru seviyede olduğundan emin olmak gerekir. Termokupllar sayesinde hassas sıcaklık kontrolü mümkün olur; böylece atık ve yeniden işleme ihtiyacı azalır.
Sistem oldukça kompakt olduğu için, alette en çok ihtiyaç duyulan alanda yer açılmasını sağlar. Yüksek ısı yoğunluğu için sağlam bir soğutma sistemi gereklidir. Isı değiştiriciler ve hava akışı da buna uygun şekilde seçilmelidir.
Mühendisler için bu, daha az sıcaklık sorunu, öngörülebilir işlem süreleri ve geliştirme aşamasından üretim aşamasına kadar hep aynı şekilde tekrarlanan bir süreç anlamına gelir.