На поверхні плити для літографії навіть незначна зміна температури в половину градуса може порушити стандарти контролю критичних розмірів. У фоторезисті залишається непередбачувана кількість розчинників, що призводить до зниження якості продукції. Ми розробили інфрачервоні нагрівачі для попереднього нагрівання фоторезисту, які допомагають усунути ці проблеми.
Що є важливим у конструкції
Ми використовуємо інфрачервоні емітери короткої довжини хвилі з швидкою реакцією та точним контролем спектру випромінювання. Це дозволяє швидко досягти бажаної температури без перевищень. Рівномірність температури на поверхні плити становить ±0,1°C; це підтверджується в умовах виробництва. Сумісність з чистими приміщеннями – не просто формальність: нагрівачі відповідають стандартам ISO класу 1–100, при цьому не утворюється жодних частинок та газів, що забезпечує цілісність фоторезисту. Повторюваність результатів нагрівання становить ±0,2°C, що дозволяє зберігати стабільність процесу під час обробки тисяч плит.
Це має велике значення на практиці: як „м’яке“, так і „жорстке“ нагрівання полягають у точному контролі температури. Інфрачервоні нагрівачі скорочують час обробки, водночас стабілізуючи кількість решткових розчинників. Це покращує рівномірність параметрів плити та зменшує кількість необхідних коректив. Витрати енергії зменшуються, оскільки нагрівається сама плита, а не стіни камери. Надійність пристроїв забезпечує можливість їх безперервної роботи протягом 24/7, а документовані показники тривалості служби дозволяють зменшити кількість несподіваних зупинок.
Встановлення полягає у правильному розташуванні пристрою в камері для обробки та підключенні його до спеціальної електричної схеми. Нагрівачі можуть використовуватися зі стандартними кріпленнями для плит, але все одно необхідно перевірити ефективність теплового зв’язку для кожної конкретної платформи. Налаштування займає незначний час – профілі нагрівання фіксуються, а карти рівномірності підтверджуються. Після цього процес залишається стабільним.