Trên dây chuyền, FOWLP đẩy ngân sách nhiệt lên giới hạn tối đa. Một điểm nóng trong quá trình reflow hoặc đóng rắn epoxy, và những die fan-out rộng bắt đầu bị trượt ra. Bộ gia nhiệt thông thường bị trôi nhiệt độ, và sự lan tỏa nhiệt trên toàn bảng thể hiện dưới dạng cong vênh, rỗ khí và liên kết yếu.
Điều cần lưu ý là: chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt đóng gói ở cấp wafer fan-out này để đáp ứng yêu cầu cấp chất bán dẫn, không phải yêu cầu marketing. Độ đồng đều nhiệt giữ ở ±0.1°C trong toàn bộ vùng hoạt động, vì vậy mỗi vị trí đều đạt cùng một thông số nhiệt. Nó tương thích với phòng sạch, cấp Class 1–100, và được thiết kế để tạo ra lượng bụi bằng 0. Vật liệu bề mặt và các lớp đệm được chọn nhằm giữ mức ô nhiễm thấp ở vị trí quan trọng — trên các tấm đo lường metrology hàng ngày.
Bạn sẽ có hiệu suất nướng photoresist lặp lại được — nướng mềm (soft bake) và nướng cứng (hard bake) — với điểm đặt nhiệt được giữ ổn định và hồ sơ tăng nhiệt theo đúng quy trình mà không bị vượt mức.
Trong FOWLP, chu trình rất chặt chẽ: đúc, nướng, phủ hạt mầm, mạ, reflow. Bộ gia nhiệt này ổn định ngăn xếp nhiệt, giúp độ lặp lại giữa các dây chuyền được cải thiện và chỉ số Cpk tăng lên. Độ đồng đều tốt hơn giảm cong vênh và ứng suất, nghĩa là giảm phế phẩm trên các substrat mỏng.
Tiêu thụ năng lượng cũng giảm, vì hệ thống đạt điểm đặt nhiệt nhanh và duy trì ổn định — không có việc bù nhiệt dư thừa gây lãng phí. Nó được xây dựng để vận hành 24/7, với lịch bảo trì dự đoán được và ít dừng đột xuất hơn. Kết quả là nhiều die đạt yêu cầu hơn trên mỗi wafer, ít lô làm lại hơn, và sản lượng ổn định qua các ca sản xuất.
Bộ gia nhiệt này lắp vào thiết bị FO WLP chuẩn, nhưng giao diện lắp đặt và đường nhiệt phải phù hợp với chuck và platen. Lập kế hoạch chạy thử ngắn để điều chỉnh tỷ lệ tăng nhiệt và mức vượt nhiệt cho ngăn xếp cụ thể của bạn.
Độ đồng đều đạt được hoặc mất đi dựa trên dòng làm mát ổn định và áp suất tiếp xúc đều, vì vậy hãy đảm bảo hai yếu tố này trước tiên. Khi điều đó ổn định, thông số ±0.1°C không còn là lời hứa mà trở thành thực thi trong vận hành hàng ngày.