Loại bỏ ozon trong quá trình xử lý chất bán dẫn
Khi sản xuất chất bán dẫn, việc giữ cho môi trường làm việc “sạch sẽ” không chỉ là một yêu cầu, mà còn là điều kiện tiên quyết. Các quy trình sấy khô và xử lý phải đảm bảo rằng không còn lại bất kỳ chất thải nào, không có hóa chất nào cả.
Vấn đề là nhiều phương pháp sưởi thông thường không thể đáp ứng được các tiêu chuẩn bảo vệ môi trường ngày nay. Đó chính là lý do tại sao chúng ta sử dụng những chiếc đèn hồng ngoại không chứa ozon này.
Vấn đề với đèn hồng ngoại thông thường
Đèn hồng ngoại thông thường phát ra bức xạ trong khoảng từ 185nm đến 250nm. Khi bức xạ này tác động vào oxy trong không khí, nó sẽ tạo ra ozon. Trong môi trường làm việc sạch sẽ, ozon là mối nguy hiểm lớn; nó có thể phá hủy các bộ phận nhạy cảm và khiến không khí trở nên ô nhiễm, thậm chí nguy hiểm đối với những người làm việc ở đó.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng vỏ đèn làm từ thạch anh, kèm theo lớp lọc chọn lọc. Điều này giúp ngăn chặn bức xạ UV – nguyên nhân gây ra ozon – trong khi vẫn giữ được nhiệt lượng cần thiết. Bạn vẫn có được nhiệt độ cần thiết, nhưng không còn chất thải hóa học nào nữa.
Lắp đặt trong hệ thống của bạn
Những chiếc đèn này có khả năng tạo ra nhiều nhiệt lượng trong một không gian nhỏ. Vì năng lượng được truyền qua bức xạ thay vì sự đối lưu, nên bạn không cần mất thời gian để làm nóng toàn bộ buồng xử lý. Bạn chỉ cần sử dụng chúng để làm nóng vật liệu cần xử lý. Điều này giúp tiết kiệm chi phí năng lượng.
Tuy nhiên, bạn cần chú ý đến mật độ năng lượng. Nếu bạn sử dụng đèn có công suất cao để tăng tốc quá trình xử lý, nhiệt độ sẽ tăng lên rất cao. Hãy đảm bảo rằng các quạt làm mát và bộ tản nhiệt có thể xử lý được lượng nhiệt đó. Nếu không, vỏ đèn có thể bị vỡ hoặc các konektor bị tan chảy. Không ai muốn phải đối mặt với tình huống này vào buổi sáng thứ Ba cả.
Ứng dụng thực tế
Chúng tôi thấy rằng nhiều người đang thay thế những lò sưởi cũ bằng những chiếc đèn này để xử lý vật liệu chất bán dẫn. Việc thay thế này rất đơn giản. Bạn không cần phải lắp đặt những hệ thống thông gió đắt tiền để loại bỏ ozon khỏi không khí. Bạn chỉ cần kết nối đèn vào hệ thống, thiết lập thời gian xử lý, và vật liệu sẽ đạt được nhiệt độ cần thiết trong vài giây.
Phương pháp này vừa giúp môi trường làm việc sạch sẽ hơn, vừa nhanh hơn, đồng thời còn tuân thủ các tiêu chuẩn bảo vệ môi trường toàn cầu mà không gây khó khăn cho bạn.