Trên sàn sản xuất, sai lệch 1°C trong quá trình tôi annealing hoặc nướng photoresist không báo trước — nó chỉ làm giảm biên độ đồng đều CD và căn chỉnh. Wafer không thương lượng. Nó hoặc là đạt hoặc không đạt.
Chúng tôi thiết kế đèn hồng ngoại tôi annealing bán dẫn để giữ hành vi nhiệt trong cửa sổ quy trình, chu trình này qua chu trình khác.
Điều thực sự quan trọng bên trong
Đèn NIR của chúng tôi tác động lên wafer bằng phương pháp gia nhiệt trực tiếp, nhanh chóng, và chúng tôi duy trì độ đồng đều trên wafer ở mức ±0.1°C trong toàn bộ shot. Phản hồi bước sóng ngắn theo sát các điểm đặt trong thời gian dưới một giây, giúp các profile tăng nhiệt giữ đúng theo công thức.
Các bộ phận quartz và phản xạ được thiết kế giữ cho việc sinh hạt ở mức bằng 0, điều này rất quan trọng khi vận hành trong phòng sạch Class 1–100. Độ lặp lại công suất duy trì trên 5,000+ giờ, với sai lệch dưới 5%. Điều khiển vòng kín với phản hồi nhiệt độ tích hợp khóa chặt ngân sách nhiệt, giúp quá trình soft bake và hard bake duy trì ổn định từ lô này sang lô khác.
Tại sao điều này hiệu quả trong lithography và annealing
Trong lithography và annealing, bạn không cần “nhiệt” mà cần nhiệt có thể dự đoán được. Độ đồng đều nghiêm ngặt giảm lỗi mép và hạn chế việc sửa chữa lại, trong khi độ lặp lại ổn định siết chặt phân phối nhiệt trên wafer.
Phản hồi nhanh rút ngắn thời gian giữ nhiệt, cho phép tăng công suất mà không mất độ chính xác profile. Tiêu thụ năng lượng giảm vì năng lượng truyền trực tiếp vào wafer, không phải làm nóng buồng. Độ tin cậy cao đồng nghĩa với ít thay đèn hơn, giảm bảo trì định kỳ và ít sự cố bất ngờ.
Những điều cần chuẩn bị trước khi vận hành
Các đèn này cần thiết bị đo nhiệt tương thích — bộ điều khiển nhận loại cảm biến và có thể chạy trình tự tăng/giữ nhiệt một cách chính xác. Sai số căn chỉnh và lắp đặt rất chặt, vì vậy cần kiểm tra khoảng cách cơ khí và profile chùm tia so với hình học buồng trước khi lắp đặt.
Dự kiến nhu cầu công suất đỉnh sẽ cao hơn trong quá trình tăng nhiệt. Cửa sổ quy trình được giữ sạch hơn khi điện tử công suất được định kích thước phù hợp.