Giữ cho bề mặt wafer luôn sạch sẽ khi được làm nóng
Khi làm việc trong phòng sạch loại Class 100, không có chỗ cho bất kỳ sai sót nào xảy ra. Chỉ cần một hạt bụi nhỏ hay một ít khí thoát ra từ bộ phận làm nóng thôi, hiệu suất sản xuất của bạn sẽ giảm sút đáng kể. Đó quả là một cơn ác mộng.
Đó là lý do tại sao chúng tôi từ bỏ việc sử dụng các vật liệu thông thường và chuyển sang sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao cho các bóng đèn IR của mình.
Tại sao thạch anh lại quan trọng đến vậy?
Hầu hết các loại thủy tinh đều không thể sử dụng được trong môi trường làm việc này. Chúng dễ nứt vỡ khi chịu tác động nhiệt, hoặc độ tinh khiết của chúng không đủ cao để sử dụng trong công nghiệp bán dẫn. Chúng tôi sử dụng thạch anh đã được xử lý để giảm hàm lượng hydroxyl (OH). Điều này giúp bóng đèn không tạo ra các hạt silic vi mô khi được làm nóng và nguội lại. Ngoài ra, lớp vỏ thạch anh còn tạo ra môi trường kín, ngăn không cho khí lọt vào. Sợi wolfram cũng được giữ ở vị trí an toàn, xa khỏi môi trường làm việc.
Đưa nhiệt lượng đến đúng nơi cần thiết
Các bóng đèn IR của chúng tôi tập trung năng lượng vào một dải quang phổ rất hẹp. Điều này giúp đạt được nhiệt độ mong muốn trên bề mặt wafer mà không làm toàn bộ thiết bị trở thành “lò nướng”. Quá trình làm nóng diễn ra rất nhanh. Nhưng điểm yếu là vì nhiệt lượng được tập trung quá mức, nên cần phải đảm bảo hệ thống làm mát hoạt động tốt. Nếu dòng khí không ổn định, thiết bị có thể bị hỏng. Đó là một sự hy sinh, nhưng nó xứng đáng để đổi lấy tốc độ làm việc nhanh chóng.
Không dùng keo, không có hạt bụi, không phiền phức
Chúng tôi thiết kế các bóng đèn này sao cho có thể thay thế một cách dễ dàng. Chúng tôi biết rằng thời gian ngừng máy là điều cần tránh, vì vậy chúng tôi tạo ra những bóng đèn dễ thay thế. Chúng tôi cũng loại bỏ việc sử dụng keo và lớp phủ trên bề mặt bóng đèn. Tại sao? Bởi vì những thứ đó cuối cùng cũng sẽ bong tróc. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng các mép kín cơ học, giúp bóng đèn vẫn hoạt động tốt trong môi trường chân không hoặc môi trường có áp suất kiểm soát. Đó là giải pháp đơn giản, hiệu quả và sạch sẽ.
Lưu ý quan trọng
Cần lưu ý rằng thạch anh có độ tinh khiết cao rất giòn. Nó có thể chịu được nhiệt độ cao, nhưng lại không chịu được va đập. Nếu các bracket đỡ bóng đèn không được bảo vệ tốt, bóng đèn có thể bị rung động và bị vỡ. Khi môi trường chân không bị phá vỡ, sợi wolfram sẽ cháy ngay lập tức. Hãy đảm bảo rằng bóng đèn được cố định chắc chắn, như vậy nó mới có thể hoạt động tốt.