如何让100级洁净室始终保持清洁状态
在100级洁净环境中，哪怕是最微小的错误都可能带来灾难性后果。哪怕只是一小片油漆碎片或少量气体泄漏，都可能毁掉整批晶圆。
问题在于，大多数加热元件并不适合用于这种环境。它们的外壳容易开裂，涂层也会在达到温度极限时脱落。这真是个噩梦。
我们则采取不同的方法：我们使用高纯度石英制成的红外灯，同时搭配耐用的不锈钢外壳。
秘诀就在于石英本身。
我们使用的都是合成高纯度石英，因为它不会结晶，因此没有微观裂纹，也就不会 có颗粒物掉落到工作区域内。此外，我们还使用短波红外光——这种光能直接照射到工件上，而不会使周围的空气变热。这样一来，HVAC系统就不必承担额外的热量负荷了。
再来看看外壳的问题。
通常，污染就是从外壳开始的。为了解决这个问题，我们使用316L不锈钢，并对其进行电抛光处理，这样可以消除所有可能导致灰尘藏身的凹凸不平之处。
我们也不愿意使用松动的螺丝，因为它们会振动、松动，从而导致颗粒物掉落。因此，我们不用机械扣件，而是通过TIG焊接将所有部件固定在一起，确保整个结构完整且光滑。
确保其在实际使用中的效果。
需要记住的一点是：这些石英灯的升温速度极快。这对提高工作效率很有好处，但也会给固定装置带来巨大压力。如果固定得太紧，就会导致框架变形或密封处出现裂缝。所以我们使用浮动式支架，这样金属部件就可以自由伸缩，而不会损坏任何东西。
在产品离开工厂之前，我们会用超声波清洗器将其彻底清洁，然后再进行真空包装。这样就确保了没有任何加工油或抛光剂残留。这样，当您打开开关时，只会发生加热作用，而不会有任何颗粒物掉落在镜片上。