التخلص من الأوزون أثناء عملية تجفيف وتصليب أشباه الموصلات
عند صناعة أشباه الموصلات، فإن “النظافة” ليست مجرد ميزة، بل هي الهدف الأساسي. يجب أن تكون عمليات التجفيف والتصليب خالية تمامًا من أي بقايا أو مواد كيميائية.
المشكلة هي أن الطرق التقليدية للتسخين لا تستطيع مواكبة المعايير البيئية الحديثة التي تتطلب عدم استخدام المواد الضارة. هنا تأتي أهمية مصابيح الأشعة تحت الحمراء الخالية من الأوزون.
مشكلة المصابيح القياسية للأشعة تحت الحمراء
المشكلة في المصابيح القياسية للأشعة تحت الحمراء هي أنها تصدر إشعاعًا في نطاق 185 نانومتر إلى 250 نانومتر. عندما يصطدم هذا الإشعاع بالأكسجين الموجود في الهواء، فإن ذلك يؤدي إلى تكوين الأوزون.
في الغرف النظيفة، يعتبر الأوزون مشكلة كبيرة؛ فهو ملوث يدمر الأجزاء الحساسة ويجعل الهواء غير صالح للاستخدام، بل وخطيرًا على الأشخاص الذين يعملون في تلك الغرف.
لحل هذه المشكلة، استخدمنا غلافًا من الكوارتز مزودًا بفلتر اختياري. يمكن اعتباره درعًا يحجب الأشعة فوق البنفسجية التي تؤدي إلى تكوين الأوزون، بينما يسمح بمرور الحرارة. بهذه الطريقة، يمكنك الحصول على الحرارة اللازمة دون أي مواد كيميائية ضارة.
كيفية استخدام هذه المصابيح
توفر هذه المصابيح حرارة كبيرة في مساحة صغيرة. وبما أن الطاقة تنتقل عبر الإشعاع وليس عبر التبادل الحراري، فإنك لا تضيع وقتًا في تسخين الغرفة بأكملها. بل يتم تسخين السطح المراد معالجته مباشرةً. هذا يوفر الكثير من الطاقة.
لكن يجب الانتباه إلى كثافة الطاقة المستخدمة. إذا استخدمت مصابيح ذات قدرة عالية لتسريع عملية التصليب، فإن درجة الحرارة سترتفع بشكل كبير. يجب التأكد من أن مراوح التبريد وأجهزة التبريد قادرة على التعامل مع هذا العبء. إلا إذا حدث ذلك، فإن الكوارتز سيتصدع أو الوصلات ستذوب، ولا أحد يريد التعامل مع ذلك في صباح يوم الثلاثاء.
الاستخدام العملي
نرى الناس يستبدلون الأفران التقليدية بتلك المصابيح عند معالجة أشباه الموصلات. إنها طريقة بسيطة للتخلص من الأوزون. لا حاجة إلى تركيب أنظمة تهوية ضخمة ومكلفة للتخلص من الأوزون. كل ما عليك فعله هو توصيل المصابيح وضبط وقت التسخين، وستصل درجة الحرارة المطلوبة في ثوانٍ.
إنها طريقة أكثر نظافة وسرعة، كما أنها تتوافق مع المعايير البيئية العالمية، دون أن تزيد من صعوبة العمل.