على أرض المصنع، انحراف قدره 1°C خلال عملية التلدين أو خبز الفوتوريزست لا يظهر بشكل واضح — بل يقلص هامشك في توحيد أبعاد الخطوط (CD uniformity)...

على الخط، لا ينتظر الرقاقة. لديك بضع ثوانٍ، ربما، وخلال تلك النافذة يجب أن يرى الفوتوريسست نفس ملف درجة الحرارة كما في الدفعة السابقة—والتالية. الخبز...