مقدمة في عمليات المعالجة العميقة لأشباه الموصلات، يسعى الجميع إلى تقليل وقت العملية دون التأثير سلبًا على جودة المنتج. لذلك، قمنا بتطوير مزيج حراري...

على أرض المصنع، انحراف قدره 1°C خلال عملية التلدين أو خبز الفوتوريزست لا يظهر بشكل واضح — بل يقلص هامشك في توحيد أبعاد الخطوط (CD uniformity)...