আপনার ড্রাইং প্রক্রিয়ার কারণে উৎপাদন ক্ষমতা নষ্ট হওয়া বন্ধ করুন।
যদি আপনি ক্লাস ১০০ মানের ক্লিনরুম ব্যবহার করেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই এই সমস্যার কথা জানেন। হিটিং এলিমেন্ট থেকে উৎপন্ন ছোট্ট ধূলিকণা বা অন্যান্য কণাগুলো যদি MEMS সেন্সর ওয়েফারের উপর পড়ে, তাহলে ওয়েফারটির পৃষ্ঠটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যায়। ফলে উৎপাদন ক্ষমতা কমে যায়। এটা খুবই হতাশাজনক; আর সত্যি বলতে, এর জন্য অনেক খরচও হয়।
এই কারণেই আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিন্থেটিক কোয়ার্টজ IR ল্যাম্প ব্যবহার করি। এগুলো থেকে কোনো ধূলিকণা বা অন্যান্য কণা বের হয় না; শুধুমাত্র পরিষ্কার তাপ উৎপন্ন হয়।
কেন কোয়ার্টজ এতটাই গুরুত্বপূর্ণ?
সাধারণ কাঁচগুলো তাপ সহ্য করতে পারে না; ফলে সেগুলো ভেঙে যায় বা ভয়ঙ্কর VOC গ্যাস নির্গত হয়। আমরা ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি; কারণ এটা খুব উচ্চ তাপমাত্রাতেও স্থিতিশীল থাকে।
কোয়ার্টজকে একটি “ভল্ট” হিসেবে ভাবুন। এটা টাঙ্গস্টেন ফিলামেন্টকে ক্লিনরুমের পরিবেশ থেকে আলাদা রাখে। আপনি প্রয়োজনীয় তাপ পান; কিন্তু কোনো ধরনের শারীরিক সংস্পর্শ বা বায়ুপ্রবাহ নেই; ফলে কোনো দূষক কণা ওয়েফারে পৌঁছায় না। এটা কাজ করার জন্য অনেক নিরাপদ উপায়।
সঠিক তাপ পাওয়ার উপায়
MEMS ড্রাইং প্রক্রিয়ায় দ্রুত কাজ করা জরুরি। আপনাকে দ্রুত তরলগুলোকে বাষ্পীভূত করতে হয়; কিন্তু ওয়েফারটিকে অতিরিক্ত তাপ দেওয়া যাবে না।
আমাদের IR ল্যাম্পগুলো শর্ট-ওয়েভ রেডিয়েশন ব্যবহার করে; ফলে তরলগুলো দ্রুত বাষ্পীভূত হয়। আমরা ওয়াটেজ ও ভোল্টেজ নিয়ন্ত্রণ করে আপনার ওয়েফারের আকার অনুযায়ী ল্যাম্পগুলো কাস্টমাইজ করি।
কিন্তু একটি বিষয় মনে রাখবেন: যখন আপনি কয়েক সেকেন্ড সময় সাশ্রয় করার জন্য ল্যাম্পগুলোকে অতিরিক্ত তাপ দেন, তখন ল্যাম্পগুলো খুব গরম হয়ে যায়। তাই আপনার ল্যাম্পগুলোকে ঠান্ডা রাখার জন্য ভালো হিট সিঙ্কিং ব্যবস্থা দরকার। নইলে আপনার ক্লিনরুমটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়ে যেতে পারে।
ল্যাম্পগুলো সংযোগ করা ও চালানো
আমরা স্ট্যান্ডার্ড কানেক্টর ব্যবহার করেছি। কেন? কারণ আমরা চাই যে এগুলো আপনার বর্তমান ড্রাইং মডিউলগুলোর জায়গায় সহজেই ব্যবহার করা যায়।
এগুলোর আকার খুব ছোট; তাই আপনি ওয়েফারের কাছাকাছি রাখতে পারেন, যাতে দক্ষতা বাড়ে। আমরা আঠা ও কোটিংগুলো ব্যবহার করিনি; কারণ এগুলো কিছুদিন পরেই খসে যায়। বরং এগুলো স্বচ্ছ ও যান্ত্রিকভাবে সংযুক্ত থাকে।
আর যখন কোনো ল্যাম্প নষ্ট হয়ে যায়? আপনি শুধুমাত্র সেটিকে প্রতিস্থাপন করলেই হবে। আপনাকে চেম্বারের থার্মাল প্রোফাইল পুনর্নির্ধারণ করতে ঘণ্টার পর ঘণ্টা সময় ব্যয় করতে হবে না। আপনি সরাসরি আবার কাজ শুরু করতে পারেন।