Na výrobní lince není odchylka teploty problém, který by se dal vyřešit na tabuli. Projevuje se jako variabilita šířky čáry, fotoresist, který se po měkkém pečení nelepí, a ztráty výtěžnosti, které ucítíte na konci měsíce. V lithografii a zpracování fotoresistů nastavuje krok pečení tepelný rozpočet. Pokud horká zóna nedokáže udržet nastavenou hodnotu po celé ploše wafers, opakovatelnost se rozpadá.
Na čem jsme pracovali
Navrhli jsme infračervenou trubici z čirého křemene s výkonem 2700W zaměřenou na jednu věc: stabilní teplo tam, kde to proces potřebuje. Křemen přenáší krátkovlnné infračervené záření čistě, takže reakce je rychlá a řízení zůstává přesné. Výkon 2700W vám poskytuje hustotu energie, aby se po cyklech dveří rychle obnovila bez přehřátí. V celé vyhřívané oblasti cílíme na jednotnost na úrovni wafers v rámci ±0,1 °C, takže kritické rozměry zůstávají v toleranci cyklus po cyklu.
Proč to funguje v produkci
Tato trubice se snadno instaluje do tepelného uspořádání pro měkké a tvrdé pečení, což pomáhá udržovat konzistentní profily fotoresistů a poskytuje vám větší rezervu na vady. Funguje v čistých místnostech od třídy 1 do třídy 100 s nízkým odplyňováním a žádnou generací částic, takže nebojujete s počty částic na waferu. Výhodou je lepší tolerance procesu, méně odchylek a intervaly údržby, které si můžete naplánovat. Energie zůstává také disciplinovaná, protože trubice se zahřívá na požadavek s minimálními ztrátami v pohotovosti.
Na co si dát pozor
Čirý křemen má dobré vlastnosti, ale je třeba s ním zacházet opatrně. Manipulujte s ním v čistých rukavicích a používejte zařízení s třídou hodnocení—jinak riskujete kontaminaci povrchu. Upravte geometrii reflektoru a proudění vzduchu podle trubice; pokud to neuděláte, horká místa a nerovnoměrná jednotnost se opět objeví. Plánujte termomechanický stres v upevnění. Tepelná roztažnost je reálná a nesprávné zarovnání způsobí, že jednotnost se časem odchýlí.