V prostředí výroby čipů nemáte druhou šanci – pokud dojde k odchylce o půl stupně během zahřívání, vše je ztraceno. Odchylka o 0,5 °C během zahřívání fotoresistu může ovlivnit kritické rozměry čipů a způsobit, že velké množství čipů skončí jako odpad. Potřebujete tedy teplo, které je předvídatelné, rovnoměrné a čisté. Proto vyrábíme speciální křemíkové ohřívače určené k výrobě čipů – tam, kde není termální balanční hladina jen doporučením.
Co je důležité
Používáme křemík proto, že poskytuje rychlou a stabilní infračervenou reakci a povrch vhodný pro použití v čistých prostorách. V aktivní zóně dosahuje rovnoměrnosti teplot na úrovni ±0,1 °C, což je právě to, co potřebujete k dosažení ideálních podmínek při zahřívání čipů. Můžete nastavit výkon podle vlnové délky a hustoty energie tak, aby odpovídal vašemu zařízení – krátkovlnné záření pro rychlé zahřívání, střednovlnné záření pro udržování konstantní teploty. Rozměry, napětí a typy konektorů jsou určeny podle vašeho zařízení, ať už se jedná o starší nebo nové zařízení – takže integrace probíhá hladce.
Litografie a zpracování fotoresistu nevydrží výkyvy teploty – vyžadují opakovatelnost v každém cyklu. Tyto ohřívače pracují 24/7 bez generování částic, takže počet částic v čistých prostorách zůstává na požadované úrovni. Výsledkem je stabilita kritických rozměrů čipů, méně oprav a konzistentní výnos. Také kontrolujeme spotřebu energie pomocí precizního termálního spojení a minimálních ztrát během odpočinku – takže provozní náklady klesají, aniž by se zpomalil čas procesu.
Na co si musíte dávat pozor: Speciální křemíkové ohřívače jsou citlivé na namáhání při montáži a proudění chladicího vzduchu. Je nutné zajistit přesné zarovnání mechanických prvků a stabilní proudění chladicího média – jinak budete mít problémy s nadměrným zahříváním. Poskytujeme kalibrační mapy a tolerance pro instalaci již na začátku. A nezapomeňte – termální reakce závisí na geometrii komory, takže sdělte nám co nejdříve parametry vašeho zařízení. Tím můžeme přizpůsobit profil ohřívače procesní komoře, nejen samotnému ohřívači.