V provozu výroby určují teploty potřebné k zahřátí polovodičových desek nejen celkový průběh procesu, ale také tloušťku vrstev na povrchu desek. I malá odchylka 0,5 °C může způsobit změny v kvalitě výrobků. Pokud k tomu přidáme ještě generování částic během cyklů svícení lampy, výsledkem bude další pokles kvality výrobků.
Potřebujeme tedy teplo, které je předvídatelné, stabilní a může být přímo použito v zařízeních, která již máte – bez nutnosti přeprogramování celé linky.
Dodáváme polovodičové lampy navržené tak, aby odpovídaly termálním a elektrickým požadavkům mezinárodních zařízení. Díky tomu dostanete certifikovanou náhradu. Profily krátkovlnného a střednovlnného záření jsou nastaveny tak, aby zajistily termální rovnoměrnost na úrovni polovodičových desek – s odchylkou ±0,1 °C během klíčových fází zahřívání.
Kvartové a halogenové prvky zaručují rychlé zahřátí s stabilním výstupním signálem, takže můžete udržet termální rozpočet pod kontrolou a zároveň chránit křehké vrstvy na povrchu desek. Kompatibilita s prostředím typu Cleanroom Class 1–100 je samozřejmostí. Nulová generace částic je ověřována pomocí monitorování během spouštění a chladnutí lampy. Drive je navržen pro nepřetržitý provoz – doba životnosti dosahuje více než 5 000 hodin s odchylkou výstupního signálu menší než 5 %.
V litografii a zpracování fotorezistů je přesnost teploty klíčová pro kvalitu výrobků a dobu procesu. Tyto lampy stabilizují průběh zahřívání, zvyšují opakovatelnost výsledků mezi jednotlivými sériemi a snižují odchylky spojené se stárnutím lampy nebo termálními vlivy.
Můžete zachovat stejné postupy výroby a stejná zařízení, přičemž díky efektivnímu a rychlému zahřátí můžete snížit spotřebu energie. Spolehlivost znamená méně neočekávaných přerušení provozu a možnost efektivně plánovat údržbu.
Instalace je kompatibilní se standardními zásuvkami a drivery lamp, ale je potřeba zkontrolovat napětí, typ konektoru a mechanické vzdálenosti vzhledem ke verzi vašeho zařízení. Některá starší zařízení vyžadují kalibraci firmwaru – my poskytujeme proceduru pro kalibraci.
Provoz pod nominálním napětím může prodloužit životnost lampy, ale zároveň může prodloužit i dobu zahřívání. Je třeba upravit křivku tak, aby odpovídala specifikacím fotorezistu.