Proč přestat zahřívat vzduch a začít zahřívat samotnou součástku?
Většina lidí je zvyklá na konvekční ohřívače. Ty zahřívají vzduch a ten potom zahřívá součástku. Ale v čistírně polovodičů? To je opravdu problém. Když zahříváte celý vnitřek stroje, všechno se namočí do tepla. Vnitřní stěny se stanou velmi horkými. To nejenže představuje riziko popálenin pro toho, kdo pracuje s tou součástkou, ale také způsobuje rozteč a posun celého rámu. To je to poslední, co chcete, když pracujete s vysoce přesnými součástkami.
Trik s směrovým zahříváním
My to děláme jinak. Používáme lampy s krátkovlnným infračerveným zářením. Místo toho, abychom bojovali s vzduchem, infračervené vlny putují ve vzpřímených liniích. V podstatě ignorují vzduch, kterým procházejí, a veškerou energii přenášejí přímo na substrát. Díky správnému umístění ohniska a použití vhodných reflektorů můžeme zaměřit toto teplo přesně tam, kam potřebujeme – přímo na wafer. Nejlepší na tom je, že stěny skříně zůstávají chladné. Získáte potřebné teplo přímo na místě zpracování, aniž byste proměnili svůj drahý stroj v obrovskou troubu.
Nevýhody infračerveného záření
Není to však magie. Existují určité kompromisy. Lampy s vysokým výkonem jsou skvělé pro rychlé ohřevy, ale jsou velmi intenzivní. Pokud jsou reflektory mírně nakloněné nebo lampa není správně umístěna, vzniknou „horká místa“ na rámu. Jde o hru na přesnost. Musíte být opravdu precizní při montáži, abyste zajistili, že vše je dokonale centrováno.
Bezpečnější způsob práce
Přechod na infračervené záření opravdu zmenšuje „nebezpečnou zónu“ uvnitř stroje. Jelikož stěny nevstřebávají odpadní teplo, vnější plášť zůstává v teplotě, která nikomu neublíží. Navíc přestanete plýtvat elektřinou na zahřívání vzduchu v klimatizované čistírně. Je to prostě chytřejší způsob, jak přenést energii. Přestaňte zahřívat celou místnost. Zahřívejte pouze samotnou součástku.