Na mokré části lithografického zařízení není problém s oplachem, který zanechává „vodní stopy“ nebo nerovnoměrné ohřevy, problémem menším. Jde o situaci, při které vznikají „pasti na částice“ a dochází k chybám v rozměrech. Je potřeba, aby teplota vzrostla rychle, povrch se dokonale vysušil, a celý proces se opakoval stejným způsobem – bez uvolňování vlhkosti nebo částic zpět do proudu.
Co je důležité pod povrchem
Vytvořili jsme vodotěsnou infračervenou lampu určenou k oplachování – jedná se o zdroj krátkovlnného infračerveného záření (SWIR): křemíkový obal, halogenová nit, rychlá reakce, stabilní výstup. Vyberte takovou vlnovou délku, kterou voda efektivně pohlcuje – tak dosáhnete rychlého ohřevu filmu a současně suchého povrchu, aniž by došlo k poškození substrátu. Udržujte termickou jednotnost v cílové oblasti na úrovni ±0,1 °C a zajistěte přesnou stabilitu teploty, aby teplotní podmínky pro fotorezist zůstaly v mezích specifikací.
Hlavice lampy má certifikaci IP67 – má uzavřené spoje a korozní odolnou konstrukci, takže dokáže odolat vlivům vlhkosti a agresivních čisticích prostředků. Je kompatibilní s čistými místnostmi třídy 1–100. Navíc během provozu nevznikají žádné částice.
Proč to odpovídá procesu
Při čištění a sušení polovodičových desek musí proces oplachování a sušení skončit s suchým, bezkontaminovaným povrchem. Infračervená lampa umožňuje sušení přímo na místě, takže se zkracuje doba cyklu a snižuje se spotřeba deionizované vody. Rychlá regulace teploty zajistí zachování integrity fotorezistu po oplachování, což zajišťuje konzistentní výsledky mezi jednotlivými sériemi výrobků. Vodotěsná konstrukce eliminuje problémy spojené s úniky vody, zatímco stabilní výstup umožňuje nepřetržitý provoz 24/7 s minimální nutností kalibrace.
Co je potřeba správně nastavit
Instalace spočívá v správném zarovnání a výběru vhodné vzdálenosti mezi lampou a povrchem. Profil intenzity záření je velmi přesný, proto je nutné správně nastavit vzdálenost, aby se předešlo tvorbě „horkých míst“, přičemž je potřeba pokrýt celou plochu. Lampa na povrchu vydává velké množství tepla, proto je nezbytná tepelná izolace a správné připojení. Nastavte vlnovou délku a hustotu výkonu podle charakteristik oplachovací kapaliny a konstrukce polovodičové desky – tak dosáhnete požadovaného výsledku.