In der Lithografie ist die Genauigkeit bei der Temperaturregulierung von entscheidender Bedeutung. Eine Abweichung von 2°C während des Weichbrennvorgangs kann die Kontrolle über die CD-Struktur ruinieren. Uneinheitliche Aushärtung wiederum führt zu Unebenheiten an den Rändern der Linien. Deshalb haben wir einen Heizer auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren entwickelt – damit entfällt die Notwendigkeit, die Temperatur manuell einzustellen, wenn es darum geht, die Wafer zu trocknen oder den Fotoleiter vorzubereiten.
Was wirklich wichtig ist: Der Heizer nutzt Kohlenstoffnanoröhren, um eine schnelle und stabile Infrarotenergie bereitzustellen. Dadurch bleibt die Temperatur auf der Waferoberfläche innerhalb von ±0,1°C konstant. Die Reaktionszeit beträgt weniger als eine Sekunde – dadurch wird verhindert, dass die Temperatur zu stark ansteigt. Dadurch bleiben die dünnen Schichten geschützt und der Energieverbrauch bleibt niedrig. Der Heizer eignet sich für Reinraumbetriebe der Klassen 1–100. Er erzeugt während seiner Betriebszeit keine Partikel und zeichnet sich durch hohe Zuverlässigkeit aus. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant – mit weniger als 5% Leistungsabfall. Dadurch bleibt die Reproduzierbarkeit hoch.
Wie das in der Praxis aussieht: Durch den Weichbrennvorgang erhalten Sie ein gleichmäßiges Profil des Fotoleiters. Die Aushärtung erfolgt dabei reproduzierbar. Die Wafer sind danach trocken und können ohne Nachbearbeitung überprüft werden. Durch die präzise Temperaturregulierung wird die Wartezeit verkürzt, Abfälle reduziert und Energie gespart – schließlich wird die Wärme genau dort eingesetzt, wo sie benötigt wird. Dadurch sinken die Zykluszeiten, ohne dass die CD-Struktur beeinträchtigt wird. Zudem muss man nicht so oft den Heizer austauschen – dieses System kann wiederholt eingesetzt werden, ohne an Leistung einzubüßen.
Einige praktische Hinweise: Sie müssen die Spannung sowie die Anschlusskraft des Geräts berücksichtigen. Zudem ist eine optimale optische Ausrichtung wichtig, damit die Strahlungsintensität auf der Waferoberfläche gleichmäßig ist. Der Heizer funktioniert am besten, wenn die Kammer luftdicht abgeschlossen ist – sonst können Umgebungsströmungen zu kleinen Temperaturschwankungen führen. Planen Sie einen kurzen Testlauf, um die Einstellungen für Ihren spezifischen Fotoleiter anzupassen.